油回転真空ポンプ

VSシリーズ

VS

アルバック

VSシリーズは、回転翼型(1段)のダイレクト駆動式油回転真空ポンプです。

VS1501 / VS2401 :
強制給油 ( 油循環系統 ) と冷却水系統の強化により、高吸入圧での排気性能が安定している油回転真空ポンプです。繰り返し排気の多いプロセスなどをはじめとして幅広い用途でご使用いただけます。

VS650B / VS750B :
大排気量で安定した排気性能が得られ、低振動であることから基礎工事などのポンプ設置に伴う負担を軽減することが可能な油回転真空ポンプです。
冷却方式は空冷と水冷の選択ができますので、設置環境に合わせてお選びいただけます。

特長

  • 高効率(IE3)マルチ電圧モータを採用:200~240V/380~460Vの幅広い電圧を1台のモータで対応します。
  • 低振動構造:揺動ピストン型と比べ低振動構造。建屋上層階設置に最適です。
  • 強制給油方式を採用:大気圧付近でも排気速度が安定。大気⇔真空の繰り返し連続運転などに最適です。
  • 特殊用途向けにもオプション対応
    標準の他、特殊用途向けの機種も用意しております。

【VS1501, VS2401】

使用例 タイプ (種類) 適用機種 主シール材 冷却水パイプ オイル
空気や不活性ガス排気
大気⇔真空の繰返し排気(高負荷運転) *1
標準 VS1501, VS2401 FKM
(フッ素)
Cu R-72
鉱物油
腐食性薬品、ガス等の排気
※腐食性ガス/純水での冷却水パイプ腐食対策
R VS1501-R, VS2401-R FKM
(フッ素)
SUS *2 R-72
鉱物油

*1 VS1501は、30 kPa以上の圧力で連続運転はできません。VS2401は、20 kPa以上の圧力で連続運転はできません。
*2 排気するガス種によっては、ポンプ内の圧縮工程により液化し、溜まることでCu製冷却水パイプが腐食することがあります。SUS製冷却水パイプをお選び頂くことで、耐腐食性を向上させます。

    用途

    • 蒸着、スパッタリング、イオンプレーティング
    • 真空包装、真空吸着・搬送、真空形成、真空鋳造
    • 真空含浸、真空鋳造
    • 真空熱処理炉、焼結炉、ろう付炉
    • 真空乾燥、凍結乾燥、真空脱気
    • ガス置換・充填、真空断熱
    • リークテスト装置、その他

    仕様

    型式 VS1501 VS2401
    設計排気速度 50Hz 150m3/h ( 2500 L/min) 240m3/h ( 4000 L/min )
    60Hz 180m3/h ( 3000 L/min) 288m3/h ( 4800 L/min )
    到達圧力 *1 GP閉 ≦ 5.3Pa
    GP開 ≦ 80Pa
    モータ *2 形式 全閉外扇形 三相誘導電動機
    高効率クラス IE3
    kW (極数) 5.5kW(4P) 7.5kW(4P)
    電圧 50Hz : 200~240 / 380~415
    60Hz : 200~240 / 380~460
    所要油量 8.0~10.5L
    使用油 *3
    ULVOIL R-72
    冷却方式 水冷
    冷却水 一次側圧力 ≦ 0.5 MPa
    入口差圧 ≦ 0.1 MPa
    冷却水量 4L/min 5L/min
    冷却水温度 5~30℃
    吸気口サイズ JIS B 2290 VG80 相当
    排気口サイズ JIS B 2290 VG50 相当
    外形寸法 W×D×H 333 x 919 x 460mm 333 x 1039 x 460mm
    質 量 *4 240kg 280kg
    標準付属品 油1台分、取扱説明書1部
    推奨オイルミストトラップ TM-3 ( VS用 ) TM-4 ( VS用 )
    注) 本仕様は、Si 単位系を採用しています。非 Si 単位系との換算は次のようになります。
    到達圧力:5.3Pa=4 x 10-2 Torr

    *1 ピラニ真空計にて測定。 ( マクラウド真空計では約 5.3 x 10-1 Pa になります。)
    *2 出荷時は 200V クラスの Δ結線となっております。ご使用の電圧が 400V クラスの場合は Y結線に変更してからお使い下さい。
    *3 他の油の種類の用意もありますので、お問い合わせください。
    *4 全閉外扇型モータ組付時の質量です。

    型式 VS650B-A VS650B-W VS750B-A VS750B-W VS650B-WL *1
    設計排気速度 50Hz 650 m3/h ( 10,833 L/min ) 750 m3/h ( 12,500 L/min ) 600 m3/h ( 10,000 L/min )
    60Hz 750 m3/h ( 12,500 L/min ) 運転できません 運転できません
    到達圧力 *2 GP閉 ≦ 8.0 Pa
    GP開 ≦ 70 Pa
    最大水蒸気許容圧力 GP開 50Hz 4,500 Pa 2,500 Pa 5,500 Pa 2,500 Pa 2,500 Pa
    60Hz 5,500 Pa 2,500 Pa 運転できません 2,500 Pa
    最大水蒸気処理量 GP開 50Hz 17 g/h 11 g/h 24 g/h 13 g/h 11 g/h
    60Hz 24 g/h 13 g/h 運転できません 運転できません 11 g/h
    モータ *3 形式 全閉外扇形 三相誘導電動機
    高効率クラス IE3
    出力 kW (極数) 22 ( 4 )
    電圧 50Hz 200 ~ 240 V / 380 ~ 415 V
    60Hz 200 ~ 240 V / 380 ~ 460 V 運転できません 運転できません 200 ~ 240 V /
    380 ~ 460 V
    使用油 ULVOIL R-72
    所要油量 23 ~ 27 L 25 ~ 30 L 23 ~ 27 L 25 ~ 30 L 25 ~ 30 L
    冷却方式 空冷 水冷 空冷 水冷 水冷
    冷却水 一次側圧力 - ≦ 0.5 Mpa - ≦ 0.5 Mpa ≦ 0.5 Mpa
    出入口差圧 - ≦ 0.1 Mpa - ≦ 0.1 Mpa ≦ 0.1 Mpa
    冷却水量 - ≦ 3.0 L/min - ≦ 3.0 L/min ≦ 3.0 L/min
    冷却水温度 - 5 ~ 30 ℃ - 5 ~ 30 ℃ 5 ~ 30 ℃
    吸気口径 DN 100 ISO-K ( オプション VG100 )
    排気口径 DN 100 ISO-K ( オプション VG100 )
    外形寸法 W×D×H 1490×905×705 mm 1490×841×705 mm 1490×905×705 mm 1490×841×705 mm 1490×841×705 mm
    質量 806 kg 800 kg 802 kg 796 kg 820 kg
    標準付属品 油 1台分、取扱説明書 1部
    注)本仕様は、Si 単位系を採用しています。非 Si 単位系との換算は次のようになります。
    到達圧力: 8.0 Pa = 6 × 10-2 Torr

    *1 VS650B-WL は 50 Hz/ 60 Hz の指定が必要です。モータプーリの変更により、50 Hz/ 60 Hz で同じ排気速度にしています。
    *2 ピラニ真空計にて測定。 ( マクラウド真空計では約 0.8 Pa になります)
    *3 出荷時は 200V クラスの Δ結線となっております。ご使用の電圧が 400V クラスの場合は Y結線に変更してからお使い下さい。

    排気速度曲線

    • VS1501

      VS1501_curve.png

    • VS2401
      VS2401_curve.png
    • VS650B
      VS650B_curve?R.png

    寸法図

    • VS1501,VS2401
      VS_size_j.png
    • VS650
      VS650_size_j.png

    油回転真空ポンプから、運転中に「パチパチ」と音がするのですが、正常ですか?

    内部のオイルが壁(シリンダや排気弁)を叩く音で、特に問題ではありません。圧力が低いとより音が響く傾向にあります。

    油回転真空ポンプのヘリウムタイト仕様における許容リーク量を教えてください。

    10-6 Pa・m3/sec 以下となります。

    油回転真空ポンプの排気口から油煙が出てきます。改善出来ませんか?

    オプションで「オイルミストトラップ」を用意しています。オイルミストトラップのページに各ポンプ毎に対応機種の記載がございますのでご確認いただければと思います。

    トラブルシューティング 油回転真空ポンプ

    故障、異常原因と対処方法
    1. ポンプの圧力が下がらない(配管等の漏れおよび真空計の異変は除く)
    2. 外部に油が漏れてくる
    3. 異常音がする
    4. ポンプが回転しない
    5. ポンプが異常に熱い
    6. 定格電流値よりも電流値が高い
    7. ポンプから異臭がする
    8. 真空槽側に油が逆流した / ポンプ停止後に油量が急激に減った
    9. ポンプの起動が困難(冬期)
    10. オイルレベルゲージが飛び出す
    11. 排気口から油が噴き出す

    トラブル対策・よくある質問・お役立ち情報
    1. 水蒸気対策
    2.
    寒冷地対策
    3.
    オイルミスト
    4.
    真空ポンプを自分で修理できますか
    5.
    真空ポンプの引取りオーバーホールではどんなことをしていますか
    6.
    真空ポンプのオーバーホールの周期はどれくらいですか
    7.
    メンテナンスのトレーニングを実施してもらえますか

    故障、異常原因と対処方法

    1. ポンプの圧力が下がらない

    チェック項目 対処方法
    油はレべルまで入っているか ・油は規定量とする不足のときは補給する
    油が汚れていないか ・汚れていれば新しい油と交換する
    水分系を吸引していないか ・油に水分が混入してしまった場合は油を交換する
    ・水分が入ってしまう場合は、ポンプ前段にトラップを入れる
    ・水分が入ってしまう場合は、ガスバラストバルブを開く
    ・「水蒸気対策」参照
    ダストを吸引していないか ・ポンプ前段にフィルタトラップを入れることで吸引防止する
    ポンプ内に異物が入り込むようなことはないか ・異物を取り除く
    ・異物が入ってしまう場合は、ポンプ前段にトラップを入れる
    高い吸入圧力で連続運転をしていないか ・頻繁に油を交換する。用途別油を使用する
    ・高い吸入圧力で連続して運転することを禁止しているポンプもあるので取扱説明書を確認する
    真空槽や配管等に漏れはないか ・ポンプ単体の性能に問題がないか確認する。問題がなければ配管等にもれがないか確認し、漏れを止める
    新しい油を入れたばかりか ・しばらく運転を続ける
    油量を入れ過ぎていないか ・油は規定量とする。多い時は減らす
    ・油を入れ過ぎると油面が見えなくなるので注意
    排気対象範囲に真空リークがないか ・接続部、溶接部の真空リーク部分を直す

    ※解決しない場合は、漏れを探し点検修理を依頼してください。依頼は最寄りのアルバックテクノCSセンター または メールフォームで承ります。
    アルバックテクノCSセンターはこちら
    メールフォームはこちら

    2. 外部に油が漏れてくる

    チェック項目 対処方法
    油が汚れていないか ・汚れていれば新しい油と交換する
    ダストを吸引していないか ・ポンプ前段にフィルタトラップを入れることで吸引防止する
    ポンプ内に異物が入り込むようなことはないか ・ポンプ前段にトラップを入れる
    高い吸入圧力で連続運転をしていないか ・頻繁に油を交換する。用途別油を使用する
    ・高い吸入圧力で連続して運転することを禁止しているポンプもあるので取扱説明書を確認する

    ※解決しない場合は、漏れを探し点検修理を依頼してください。依頼は最寄りのアルバックテクノCSセンター または メールフォームで承ります。
    アルバックテクノCSセンターはこちら
    メールフォームはこちら

    3. 異常音がする

    チェック項目 対処方法
    油はレべルまで入っているか ・油は規定量とする不足のときは補給する
    ダストを吸引していないか ・ポンプ前段にフィルタトラップを入れることで吸引防止する
    ポンプ内に異物が入り込むようなことはないか ・異物を取り除く
    ・異物が入ってしまう場合は、ポンプ前段にトラップを入れる
    入力電源に異常はないか ・定格電圧の±10%以内に改善する

    ※解決しない場合は、ベーンが破損、異物が入っている可能性がありますので、点検修理を依頼してください。依頼は最寄りのアルバックテクノCSセンター または メールフォームで承ります。
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    4. ポンプが回転しない

    チェック項目 対処方法
    油が汚れていないか ・汚れていれば新しい油と交換する
    水分系を吸引していないか

    ・油に水分が混入してしまった場合は油を交換する
    ・水分が入ってしまう場合は、ポンプ前段にトラップを入れる
    ・水分が入ってしまう場合は、ガスバラストバルブを開く
    ・「水蒸気対策」参照

    ダストを吸引していないか ・ポンプ前段にフィルタトラップを入れることで吸引防止する
    ポンプ内に異物が入り込むようなことはないか ・異物を取り除く
    ・異物が入ってしまう場合は、ポンプ前段にトラップを入れる
    高い吸入圧力で連続運転をしていないか ・安全装置が働いている。復帰ボタンを押すか冷めるまで待つ
    ・高い吸入圧力で連続して運転することを禁止しているポンプもあるので取扱説明書を確認する

    ※解決しない場合は、点検修理を依頼してください。依頼は最寄りのアルバックテクノCSセンター または メールフォームで承ります。
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    5. ポンプが異常に熱い

    チェック項目 対処方法
    高い吸入圧力で連続運転をしていないか ・頻繁に油を交換する。用途別油を使用する
    ・高い吸入圧力で連続して運転することを禁止しているポンプもあるので取扱説明書を確認する
    ポンプ周辺の温度が高くないか ・ファンを取り付けて冷却すなどポンプ周辺の温度を改善する

    ※解決しない場合は、点検修理を依頼してください。依頼は最寄りのアルバックテクノCSセンター または メールフォームで承ります。
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    6. 定格電流値よりも電流値が高い

    チェック項目 対処方法
    水分系を吸引していないか

    ・油に水分が混入してしまった場合は油を交換する
    ・水分が入ってしまう場合は、ポンプ前段にトラップを入れる
    ・水分が入ってしまう場合は、ガスバラストバルブを開く
    「水蒸気対策」参照

    排気側が目詰まりしていないか ・オイルミストトラップのフィルターを交換する
    ポンプ内に異物が入り込むようなことはないか ・異物を取り除く・異物が入ってしまう場合は、ポンプ前段にトラップを入れる
    高い吸入圧力で連続運転をしていないか ・頻繁に油を交換する。用途別油を使用する
    ・高い吸入圧力で連続して運転することを禁止しているポンプもあるので取扱説明書を確認する
    供給電圧に問題はないか ・電圧降下が起こっていないか、電気的な確認をする。
    ポンプ周辺の温度が高くないか ・ファンを取り付けて冷却すなどポンプ周辺の温度を改善する

    ※解決しない場合は、点検修理を依頼してください。依頼は最寄りのアルバックテクノCSセンター または メールフォームで承ります。
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    7. ポンプから異臭がする

    対処方法:下記チェック項目を確認してから冬期の場合には、ポンプ内の油を暖めて(室温を上げる等)手でプーリーを回してみてください。

    チェック項目 対処方法
    吸引物に原因がないか ・吸引物に臭気がある場合は、ポンプ前段にトラップを入れる・排気側をダクトにつなぐなどの対策を取る
    モータが焼け焦げていないか ・焦げ臭い場合はモータが損傷の可能性があるので修理を依頼する

    ※解決しない場合は、点検修理を依頼してください。依頼は最寄りのアルバックテクノCSセンター または メールフォームで承ります。
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    8. 真空槽側に油が逆流した/ポンプ停止後に油量が急激に減った

    対処方法:下記チェック項目を確認してから冬期の場合には、ポンプ内の油を暖めて(室温を上げる等)手でプーリーを回してみてください。

    チェック項目 対処方法
    真空槽、真空配管に油が逆流していないか ・真空槽側を大気圧にし、そのままポンプを運転する
    ・油がポンプに戻ったら、ポンプを停止し、真空槽や配管を洗浄する
    ・油が減っている場合は補充する

    ※解決しない場合は、点検修理を依頼してください。依頼は最寄りのアルバックテクノCSセンター または メールフォームで承ります。
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    9. ポンプの起動が困難(冬期)

    対処方法:チェック項目を確認してから冬期の場合には、ポンプ内の油を暖めて(室温を上げる等)手でプーリーを回してみてください。

    チェック項目 対処方法
    油はレべルまで入っているか ・油は規定量とする不足のときは補給する
    油が汚れていないか ・汚れていれば新しい油と交換する
    ダストを吸引していないか ・ポンプ前段にフィルタトラップを入れることで吸引防止する
    ポンプ内に異物が入り込むようなことはないか ・ポンプ前段にトラップを入れる

    ※手でプーリーが回らなければ、修理を依頼してください。
    寒冷地対策」参照

    10. オイルレベルゲージが飛び出す

    対処方法:排気口側が詰まっていないかチェック(オイルミストトラップの目詰まり等)してから、チェック項目を確認してください。

    チェック項目 対処方法
    ダストを吸引していないか ・ポンプ前段にフィルタトラップを入れることで吸引防止する
    ポンプ内に異物が入り込むようなことはないか ・ポンプ前段にトラップを入れる
    高い吸入圧力で連続運転をしていないか ・油の交換をよく行う用途別油を使用する

    ※解決しない場合は、点検修理を依頼してください。依頼は最寄りのアルバックテクノCSセンター または メールフォームで承ります。
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    メールフォームはこちら

    11. 排気口から油が噴き出す

    チェック項目 対処方法
    高い吸入圧力で連続運転をしていないか ・油の交換をよく行う用途別油を使用する
    ・「オイルミスト」参照
    ポンプ回り配管等に漏れはないか ・漏れを止める
    油量を入れ過ぎていないか ・規定量水準まで減らす

    ※解決しない場合は、点検修理を依頼してください。依頼は最寄りのアルバックテクノCSセンター または メールフォームで承ります。
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    メールフォームはこちら

    トラブル対策・よくある質問・お役立ち情報

    1. 水蒸気対策

    ポンプ表面温度が60~70℃程度まで温まってから、ガスバラストバルブ(ガスバラ機能があるもののみ)を開放し、水分を排気します。
    多量の水分を吸引した場合は、すぐに油を交換。そのまま放置すると、性能の低下だけでなく、ポンプ内にさびが発生し、回転不良を起こす原因となります。
    油に混入した水分は、オイルフィルトレーションシステムで取り除くことも可能です。

    2. 寒冷地対策

    ポンプ停止時、凍結防止のため、冷却水を少量流して、冷却パイプ、ジャケット部の破損を防ぎます。
    2日以上ポンプを停止する場合は、冷却パイプ、ジャケット内に圧縮空気を流し、内部の水をパージ しておくことが必要です。

    3. オイルミスト

    オイルミストが比較的高い圧力のときに多く出ることは、吸入気体の密度(圧力)が高ければそれだけ排気気体の量も多くなることが原因です。
    油回転真空ポンプは、油を使って潤滑およびシールをしています。
    高い圧力で吸引し続けるとポンプ内部の油が排出されて潤滑不良を起こし、内部温度が上がり熱膨張が起き、駆動部分が焼き付け最終的にはポンプ停止の恐れがあります。高い圧力で連続運転を行わないでください。

    油回転真空ポンプとゴムホースの接続

    ご使用の油回転真空ポンプにあったアダプタ、吸気管、真空ゴムホースをご確認いただけます。

    「油回転真空ポンプ機種」と「接続先の管の外径」または「接続予定のホース内径」をご確認いただき、必要部品(a アダプタ、b 吸気管、c 真空ゴムホース)を選定ください。

    connection.png

    真空ゴムホース(c)は、吸気管に対して「-2φ程度」の製品選定を推奨しております。サイズが多少緩い場合にはホースバンド等で固定することによりご使用戴けます。
    吸気管(b)は、真空ゴムホースに対して「+2φ程度」の製品をご選定ください。

    *ご用命の際には表内の名称でお問い合わせいただきますと円滑に対応可能となります。
    なお掲載されていないホース口吸気管、真空ゴムホースのサイズは、弊社ではご用意がございませんのでご了承ください。

    ポンプ機種 接続先の
    管の外径
    接続予定のホース内径 a アダプタ b 吸気管
    ※購入時に取付けられている規格
    c 真空ゴムホース
    ホースをお持ちの方は不要
    G-101S φ8 φ6 , φ7 □40アダプター (M20メネジ) ホース口吸気管 (φ8×M20) 真空ゴムホース (内径φ6×外径φ18)
    φ12 φ8 , φ9 , φ10 , φ11 □40アダプター (M20メネジ) ホース口吸気管 (φ12×M20) 真空ゴムホース (内径φ7.5×外径φ20)
    φ15 φ12 , φ13 , φ14 □40アダプター (M20メネジ) ホース口吸気管 (φ15×M20) 真空ゴムホース (内径φ12×外径φ30)
    φ18 φ15 , φ16 , φ17 □40アダプター (M20メネジ) ホース口吸気管 (φ18×M20) 真空ゴムホース (内径φ15×外径φ36)
    φ22 φ20 , φ21 □40アダプター (M20メネジ) ホース口吸気管 (φ22×M20) 真空ゴムホース (内径φ18×外径φ42)
    φ27 φ25 , φ26 不要 ホース口吸気管 (φ27×▢40) ※ 真空ゴムホース (内径φ25×外径φ50)

    ポンプ機種 接続先の
    管の外径
    接続予定のホース内径 a アダプタ b 吸気管
    ※購入時に取付けられている規格
    c 真空ゴムホース
    ホースをお持ちの方は不要
    G-101D φ8 φ6 , φ7 □40アダプター (M20メネジ) ホース口吸気管 (φ8×M20) 真空ゴムホース (内径φ6×外径φ18)
    φ12 φ8 , φ9 , φ10 , φ11 □40アダプター (M20メネジ) ホース口吸気管 (φ12×M20) 真空ゴムホース (内径φ7.5×外径φ20)
    φ15 φ12 , φ13 , φ14 □40アダプター (M20メネジ) ホース口吸気管 (φ15×M20) 真空ゴムホース (内径φ12×外径φ30)
    φ18 φ15 , φ16 , φ17 □40アダプター (M20メネジ) ホース口吸気管 (φ18×M20) 真空ゴムホース (内径φ15×外径φ36)
    φ22 φ20 , φ21 □40アダプター (M20メネジ) ホース口吸気管 (φ22×M20) 真空ゴムホース (内径φ18×外径φ42)
    φ27 φ25 , φ26 不要 ホース口吸気管 (φ27×▢40) ※ 真空ゴムホース (内径φ25×外径φ50)

    ポンプ機種 接続先の
    管の外径
    接続予定のホース内径 a アダプタ b 吸気管
    ※購入時に取付けられている規格
    c 真空ゴムホース
    ホースをお持ちの方は不要
    G-25SA φ8 φ6 , φ7 不要 ホース口吸気管 (φ8×M20) 真空ゴムホース (内径φ6×外径φ18)
    φ12 φ8 , φ9 , φ10 , φ11 不要 ホース口吸気管 (φ12×M20) 真空ゴムホース (内径φ7.5×外径φ20)
    φ15 φ12 , φ13 , φ14 不要 ホース口吸気管 (φ15×M20) 真空ゴムホース (内径φ12×外径φ30)
    φ18 φ15 , φ16 , φ17 不要 ホース口吸気管 (φ18×M20) ※ 真空ゴムホース (内径φ15×外径φ36)
    φ22 φ20 , φ21 不要 ホース口吸気管 (φ22×M20) 真空ゴムホース (内径φ18×外径φ42)

    ポンプ機種 接続先の
    管の外径
    接続予定のホース内径 a アダプタ b 吸気管
    ※購入時に取付けられている規格
    c 真空ゴムホース
    ホースをお持ちの方は不要
    G-50SA φ8 φ6 , φ7 不要 ホース口吸気管 (φ8×M20) 真空ゴムホース (内径φ6×外径φ18)
    φ12 φ8 , φ9 , φ10 , φ11 不要 ホース口吸気管 (φ12×M20) 真空ゴムホース (内径φ7.5×外径φ20)
    φ15 φ12 , φ13 , φ14 不要 ホース口吸気管 (φ15×M20) 真空ゴムホース (内径φ12×外径φ30)
    φ18 φ15 , φ16 , φ17 不要 ホース口吸気管 (φ18×M20) ※ 真空ゴムホース (内径φ15×外径φ36)
    φ22 φ20 , φ21 不要 ホース口吸気管 (φ22×M20) 真空ゴムホース (内径φ18×外径φ42)

    ポンプ機種 接続先の
    管の外径
    接続予定のホース内径 a アダプタ b 吸気管
    ※購入時に取付けられている規格
    c 真空ゴムホース
    ホースをお持ちの方は不要
    G-5SA φ8 φ6 , φ7 不要 ホース口吸気管 (φ8×M20) 真空ゴムホース (内径φ6×外径φ18)
    φ12 φ8 , φ9 , φ10 , φ11 不要 ホース口吸気管 (φ12×M20) ※ 真空ゴムホース (内径φ7.5×外径φ20)
    φ15 φ12 , φ13 , φ14 不要 ホース口吸気管 (φ15×M20) 真空ゴムホース (内径φ12×外径φ30)
    φ18 φ15 , φ16 , φ17 不要 ホース口吸気管 (φ18×M20) 真空ゴムホース (内径φ15×外径φ36)
    φ22 φ20 , φ21 不要 ホース口吸気管 (φ22×M20) 真空ゴムホース (内径φ18×外径φ42)

    ポンプ機種 接続先の
    管の外径
    接続予定のホース内径 a アダプタ b 吸気管
    ※購入時に取付けられている規格
    c 真空ゴムホース
    ホースをお持ちの方は不要
    G-5DA φ8 φ6 , φ7 不要 ホース口吸気管 (φ8×M20) 真空ゴムホース (内径φ6×外径φ18)
    φ12 φ8 , φ9 , φ10 , φ11 不要 ホース口吸気管 (φ12×M20) ※ 真空ゴムホース (内径φ7.5×外径φ20)
    φ15 φ12 , φ13 , φ14 不要 ホース口吸気管 (φ15×M20) 真空ゴムホース (内径φ12×外径φ30)
    φ18 φ15 , φ16 , φ17 不要 ホース口吸気管 (φ18×M20) 真空ゴムホース (内径φ15×外径φ36)
    φ22 φ20 , φ21 不要 ホース口吸気管 (φ22×M20) 真空ゴムホース (内径φ18×外径φ42)

    ポンプ機種 接続先の
    管の外径
    接続予定のホース内径 a アダプタ b 吸気管
    ※購入時に取付けられている規格
    c 真空ゴムホース
    ホースをお持ちの方は不要
    G-10DA φ8 φ6 , φ7 不要 ホース口吸気管 (φ8×M20) 真空ゴムホース (内径φ6×外径φ18)
    φ12 φ8 , φ9 , φ10 , φ11 不要 ホース口吸気管 (φ12×M20) 真空ゴムホース (内径φ7.5×外径φ20)
    φ15 φ12 , φ13 , φ14 不要 ホース口吸気管 (φ15×M20) 真空ゴムホース (内径φ12×外径φ30)
    φ18 φ15 , φ16 , φ17 不要 ホース口吸気管 (φ18×M20) ※ 真空ゴムホース (内径φ15×外径φ36)
    φ22 φ20 , φ21 不要 ホース口吸気管 (φ22×M20) 真空ゴムホース (内径φ18×外径φ42)

    ポンプ機種 接続先の
    管の外径
    接続予定のホース内径 a アダプタ b 吸気管
    ※購入時に取付けられている規格
    c 真空ゴムホース
    ホースをお持ちの方は不要
    G-20DA φ8 φ6 , φ7 不要 ホース口吸気管 (φ8×M20) 真空ゴムホース (内径φ6×外径φ18)
    φ12 φ8 , φ9 , φ10 , φ11 不要 ホース口吸気管 (φ12×M20) 真空ゴムホース (内径φ7.5×外径φ20)
    φ15 φ12 , φ13 , φ14 不要 ホース口吸気管 (φ15×M20) 真空ゴムホース (内径φ12×外径φ30)
    φ18 φ15 , φ16 , φ17 不要 ホース口吸気管 (φ18×M20) ※ 真空ゴムホース (内径φ15×外径φ36)
    φ22 φ20 , φ21 不要 ホース口吸気管 (φ22×M20) 真空ゴムホース (内径φ18×外径φ42)

    ポンプ機種 接続先の
    管の外径
    接続予定のホース内径 a アダプタ b 吸気管
    ※購入時に取付けられている規格
    c 真空ゴムホース
    ホースをお持ちの方は不要
    G-50DA φ8 φ6 , φ7 不要 ホース口吸気管 (φ8×M20) 真空ゴムホース (内径φ6×外径φ18)
    φ12 φ8 , φ9 , φ10 , φ11 不要 ホース口吸気管 (φ12×M20) 真空ゴムホース (内径φ7.5×外径φ20)
    φ15 φ12 , φ13 , φ14 不要 ホース口吸気管 (φ15×M20) 真空ゴムホース (内径φ12×外径φ30)
    φ18 φ15 , φ16 , φ17 不要 ホース口吸気管 (φ18×M20) ※ 真空ゴムホース (内径φ15×外径φ36)
    φ22 φ20 , φ21 不要 ホース口吸気管 (φ22×M20) 真空ゴムホース (内径φ18×外径φ42)

    ポンプ機種 接続先の
    管の外径
    接続予定のホース内径 a アダプタ b 吸気管
    ※購入時に取付けられている規格
    c 真空ゴムホース
    ホースをお持ちの方は不要
    GHD-031A φ12 φ8 , φ9 , φ10 , φ11 不要 ホース口吸気管 (φ12) GHD-031用 真空ゴムホース (内径φ7.5×外径φ20)
    φ18 φ15 , φ16 , φ17 不要 ホース口吸気管 (φ18) GHD-031用 真空ゴムホース (内径φ15×外径φ36)

    ポンプ機種 接続先の
    管の外径
    接続予定のホース内径 a アダプタ b 吸気管
    ※購入時に取付けられている規格
    c 真空ゴムホース
    ホースをお持ちの方は不要
    GHD-101A φ8 φ6 , φ7 □50アダプター (M20メネジ) ホース口吸気管 (φ8×M20) 真空ゴムホース (内径φ6×外径φ18)
    φ12 φ8 , φ9 , φ10 , φ11 □50アダプター (M20メネジ) ホース口吸気管 (φ12×M20) 真空ゴムホース (内径φ7.5×外径φ20)
    φ15 φ12 , φ13 , φ14 □50アダプター (M20メネジ) ホース口吸気管 (φ15×M20) 真空ゴムホース (内径φ12×外径φ30)
    φ18 φ15 , φ16 , φ17 □50アダプター (M20メネジ) ホース口吸気管 (φ18×M20) 真空ゴムホース (内径φ15×外径φ36)
    φ22 φ20 , φ21 □50アダプター (M20メネジ) ホース口吸気管 (φ22×M20) 真空ゴムホース (内径φ18×外径φ42)
    φ27 φ25 , φ26 □50アダプター (M20メネジ) ホース口吸気管 (φ27×M20) 真空ゴムホース (内径φ25×外径φ50)

    ポンプ機種 接続先の
    管の外径
    接続予定のホース内径 a アダプタ b 吸気管
    ※購入時に取付けられている規格
    c 真空ゴムホース
    ホースをお持ちの方は不要
    GLS-051 φ8 φ6 , φ7 □40アダプター (M20メネジ) ホース口吸気管 (φ8×M20) 真空ゴムホース (内径φ6×外径φ18)
    φ12 φ8 , φ9 , φ10 , φ11 □40アダプター (M20メネジ) ホース口吸気管 (φ12×M20) 真空ゴムホース (内径φ7.5×外径φ20)
    φ15 φ12 , φ13 , φ14 □40アダプター (M20メネジ) ホース口吸気管 (φ15×M20) 真空ゴムホース (内径φ12×外径φ30)
    φ18 φ15 , φ16 , φ17 □40アダプター (M20メネジ) ホース口吸気管 (φ18×M20) 真空ゴムホース (内径φ15×外径φ36)
    φ22 φ20 , φ21 □40アダプター (M20メネジ) ホース口吸気管 (φ22×M20) 真空ゴムホース (内径φ18×外径φ42)
    φ27 φ25 , φ26 不要 ホース口吸気管 (φ27×▢40) 真空ゴムホース (内径φ25×外径φ50)

    ポンプ機種 接続先の
    管の外径
    接続予定のホース内径 a アダプタ b 吸気管
    ※購入時に取付けられている規格
    c 真空ゴムホース
    ホースをお持ちの方は不要
    GLD-051 φ8 φ6 , φ7 □40アダプター (M20メネジ) ホース口吸気管 (φ8×M20) 真空ゴムホース (内径φ6×外径φ18)
    φ12 φ8 , φ9 , φ10 , φ11 □40アダプター (M20メネジ) ホース口吸気管 (φ12×M20) 真空ゴムホース (内径φ7.5×外径φ20)
    φ15 φ12 , φ13 , φ14 □40アダプター (M20メネジ) ホース口吸気管 (φ15×M20) 真空ゴムホース (内径φ12×外径φ30)
    φ18 φ15 , φ16 , φ17 □40アダプター (M20メネジ) ホース口吸気管 (φ18×M20) 真空ゴムホース (内径φ15×外径φ36)
    φ22 φ20 , φ21 □40アダプター (M20メネジ) ホース口吸気管 (φ22×M20) 真空ゴムホース (内径φ18×外径φ42)
    φ27 φ25 , φ26 不要 ホース口吸気管 (φ27×▢40) 真空ゴムホース (内径φ25×外径φ50)

    ポンプ機種 接続先の
    管の外径
    接続予定のホース内径 a アダプタ b 吸気管
    ※購入時に取付けられている規格
    c 真空ゴムホース
    ホースをお持ちの方は不要
    GLD-040 φ8 φ6 , φ7 □40アダプター (M20メネジ) ホース口吸気管 (φ8×M20) 真空ゴムホース (内径φ6×外径φ18)
    φ12 φ8 , φ9 , φ10 , φ11 □40アダプター (M20メネジ) ホース口吸気管 (φ12×M20) 真空ゴムホース (内径φ7.5×外径φ20)
    φ15 φ12 , φ13 , φ14 □40アダプター (M20メネジ) ホース口吸気管 (φ15×M20) 真空ゴムホース (内径φ12×外径φ30)
    φ18 φ15 , φ16 , φ17 □40アダプター (M20メネジ) ホース口吸気管 (φ18×M20) 真空ゴムホース (内径φ15×外径φ36)
    φ22 φ20 , φ21 不要 ホース口吸気管 (φ27×▢40) 真空ゴムホース (内径φ18×外径φ42)

    ポンプ機種 接続先の
    管の外径
    接続予定のホース内径 a アダプタ b 吸気管
    ※購入時に取付けられている規格
    c 真空ゴムホース
    ホースをお持ちの方は不要
    GLD-137AA φ8 φ6 , φ7 □50アダプター (M20メネジ) ホース口吸気管 (φ8×M20) 真空ゴムホース (内径φ6×外径φ18)
    φ12 φ8 , φ9 , φ10 , φ11 □50アダプター (M20メネジ) ホース口吸気管 (φ12×M20) 真空ゴムホース (内径φ7.5×外径φ20)
    φ15 φ12 , φ13 , φ14 □50アダプター (M20メネジ) ホース口吸気管 (φ15×M20) 真空ゴムホース (内径φ12×外径φ30)
    φ18 φ15 , φ16 , φ17 □50アダプター (M20メネジ) ホース口吸気管 (φ18×M20) 真空ゴムホース (内径φ15×外径φ36)
    φ22 φ20 , φ21 □50アダプター (M20メネジ) ホース口吸気管 (φ22×M20) 真空ゴムホース (内径φ18×外径φ42)
    φ27 φ25 , φ26 不要 ホース口吸気管 (φ27×▢50) 真空ゴムホース (内径φ25×外径φ50)

    ポンプ機種 接続先の
    管の外径
    接続予定のホース内径 a アダプタ b 吸気管
    ※購入時に取付けられている規格
    c 真空ゴムホース
    ホースをお持ちの方は不要
    GLD-137CC φ8 φ6 , φ7 □50アダプター (M20メネジ) ホース口吸気管 (φ8×M20) 真空ゴムホース (内径φ6×外径φ18)
    φ12 φ8 , φ9 , φ10 , φ11 □50アダプター (M20メネジ) ホース口吸気管 (φ12×M20) 真空ゴムホース (内径φ7.5×外径φ20)
    φ15 φ12 , φ13 , φ14 □50アダプター (M20メネジ) ホース口吸気管 (φ15×M20) 真空ゴムホース (内径φ12×外径φ30)
    φ18 φ15 , φ16 , φ17 □50アダプター (M20メネジ) ホース口吸気管 (φ18×M20) 真空ゴムホース (内径φ15×外径φ36)
    φ22 φ20 , φ21 □50アダプター (M20メネジ) ホース口吸気管 (φ22×M20) 真空ゴムホース (内径φ18×外径φ42)
    φ27 φ25 , φ26 不要 ホース口吸気管 (φ27×▢50) 真空ゴムホース (内径φ25×外径φ50)

    ポンプ機種 接続先の
    管の外径
    接続予定のホース内径 a アダプタ b 吸気管
    ※購入時に取付けられている規格
    c 真空ゴムホース
    ホースをお持ちの方は不要
    GLD-202AA φ8 φ6 , φ7 □50アダプター (M20メネジ) ホース口吸気管 (φ8×M20) 真空ゴムホース (内径φ6×外径φ18)
    φ12 φ8 , φ9 , φ10 , φ11 □50アダプター (M20メネジ) ホース口吸気管 (φ12×M20) 真空ゴムホース (内径φ7.5×外径φ20)
    φ15 φ12 , φ13 , φ14 □50アダプター (M20メネジ) ホース口吸気管 (φ15×M20) 真空ゴムホース (内径φ12×外径φ30)
    φ18 φ15 , φ16 , φ17 □50アダプター (M20メネジ) ホース口吸気管 (φ18×M20) 真空ゴムホース (内径φ15×外径φ36)
    φ22 φ20 , φ21 □50アダプター (M20メネジ) ホース口吸気管 (φ22×M20) 真空ゴムホース (内径φ18×外径φ42)
    φ27 φ25 , φ26 不要 ホース口吸気管 (φ27×▢50) 真空ゴムホース (内径φ25×外径φ50)

    ポンプ機種 接続先の
    管の外径
    接続予定のホース内径 a アダプタ b 吸気管
    ※購入時に取付けられている規格
    c 真空ゴムホース
    ホースをお持ちの方は不要
    GLD-202BB φ8 φ6 , φ7 □50アダプター (M20メネジ) ホース口吸気管 (φ8×M20) 真空ゴムホース (内径φ6×外径φ18)
    φ12 φ8 , φ9 , φ10 , φ11 □50アダプター (M20メネジ) ホース口吸気管 (φ12×M20) 真空ゴムホース (内径φ7.5×外径φ20)
    φ15 φ12 , φ13 , φ14 □50アダプター (M20メネジ) ホース口吸気管 (φ15×M20) 真空ゴムホース (内径φ12×外径φ30)
    φ18 φ15 , φ16 , φ17 □50アダプター (M20メネジ) ホース口吸気管 (φ18×M20) 真空ゴムホース (内径φ15×外径φ36)
    φ22 φ20 , φ21 □50アダプター (M20メネジ) ホース口吸気管 (φ22×M20) 真空ゴムホース (内径φ18×外径φ42)
    φ27 φ25 , φ26 不要 ホース口吸気管 (φ27×▢50) 真空ゴムホース (内径φ25×外径φ50)

    ポンプ機種 接続先の
    管の外径
    接続予定のホース内径 a アダプタ b 吸気管
    ※購入時に取付けられている規格
    c 真空ゴムホース
    ホースをお持ちの方は不要
    GLD-280A φ8 φ6 , φ7 □50アダプター (M20メネジ) ホース口吸気管 (φ8×M20) 真空ゴムホース (内径φ6×外径φ18)
    φ12 φ8 , φ9 , φ10 , φ11 □50アダプター (M20メネジ) ホース口吸気管 (φ12×M20) 真空ゴムホース (内径φ7.5×外径φ20)
    φ15 φ12 , φ13 , φ14 □50アダプター (M20メネジ) ホース口吸気管 (φ15×M20) 真空ゴムホース (内径φ12×外径φ30)
    φ18 φ15 , φ16 , φ17 □50アダプター (M20メネジ) ホース口吸気管 (φ18×M20) 真空ゴムホース (内径φ15×外径φ36)
    φ22 φ20 , φ21 □50アダプター (M20メネジ) ホース口吸気管 (φ22×M20) 真空ゴムホース (内径φ18×外径φ42)
    φ27 φ25 , φ26 不要 ホース口吸気管 (φ27×▢50) 真空ゴムホース (内径φ25×外径φ50)

    ポンプ機種 接続先の
    管の外径
    接続予定のホース内径 a アダプタ b 吸気管
    ※購入時に取付けられている規格
    c 真空ゴムホース
    ホースをお持ちの方は不要
    GCD-051X φ8 φ6 , φ7 □40アダプター (M20メネジ) ホース口吸気管 (φ8×M20) 真空ゴムホース (内径φ6×外径φ18)
    φ12 φ8 , φ9 , φ10 , φ11 □40アダプター (M20メネジ) ホース口吸気管 (φ12×M20) 真空ゴムホース (内径φ7.5×外径φ20)
    φ15 φ12 , φ13 , φ14 □40アダプター (M20メネジ) ホース口吸気管 (φ15×M20) 真空ゴムホース (内径φ12×外径φ30)
    φ18 φ15 , φ16 , φ17 □40アダプター (M20メネジ) ホース口吸気管 (φ18×M20) 真空ゴムホース (内径φ15×外径φ36)
    φ22 φ20 , φ21 □40アダプター (M20メネジ) ホース口吸気管 (φ22×M20) 真空ゴムホース (内径φ18×外径φ42)
    φ27 φ25 , φ26 不要 ホース口吸気管 (φ27×▢40) 真空ゴムホース (内径φ25×外径φ50)

    ポンプ機種 接続先の
    管の外径
    接続予定のホース内径 a アダプタ b 吸気管
    ※購入時に取付けられている規格
    c 真空ゴムホース
    ホースをお持ちの方は不要
    GCD-136X φ8 φ6 , φ7 □50アダプター (M20メネジ) ホース口吸気管 (φ8×M20) 真空ゴムホース (内径φ6×外径φ18)
    φ12 φ8 , φ9 , φ10 , φ11 □50アダプター (M20メネジ) ホース口吸気管 (φ12×M20) 真空ゴムホース (内径φ7.5×外径φ20)
    φ15 φ12 , φ13 , φ14 □50アダプター (M20メネジ) ホース口吸気管 (φ15×M20) 真空ゴムホース (内径φ12×外径φ30)
    φ18 φ15 , φ16 , φ17 □50アダプター (M20メネジ) ホース口吸気管 (φ18×M20) 真空ゴムホース (内径φ15×外径φ36)
    φ22 φ20 , φ21 □50アダプター (M20メネジ) ホース口吸気管 (φ22×M20) 真空ゴムホース (内径φ18×外径φ42)
    φ27 φ25 , φ26 不要 ホース口吸気管 (φ27×▢50) 真空ゴムホース (内径φ25×外径φ50)

    ポンプ機種 接続先の
    管の外径
    接続予定のホース内径 a アダプタ b 吸気管
    ※購入時に取付けられている規格
    c 真空ゴムホース
    ホースをお持ちの方は不要
    GCD-201X φ8 φ6 , φ7 □50アダプター (M20メネジ) ホース口吸気管 (φ8×M20) 真空ゴムホース (内径φ6×外径φ18)
    φ12 φ8 , φ9 , φ10 , φ11 □50アダプター (M20メネジ) ホース口吸気管 (φ12×M20) 真空ゴムホース (内径φ7.5×外径φ20)
    φ15 φ12 , φ13 , φ14 □50アダプター (M20メネジ) ホース口吸気管 (φ15×M20) 真空ゴムホース (内径φ12×外径φ30)
    φ18 φ15 , φ16 , φ17 □50アダプター (M20メネジ) ホース口吸気管 (φ18×M20) 真空ゴムホース (内径φ15×外径φ36)
    φ22 φ20 , φ21 □50アダプター (M20メネジ) ホース口吸気管 (φ22×M20) 真空ゴムホース (内径φ18×外径φ42)
    φ27 φ25 , φ26 不要 ホース口吸気管 (φ27×▢50) 真空ゴムホース (内径φ25×外径φ50)

    オイルミストトラップ ( オイル回収機能 ) とは

    油回転真空ポンプは、構造上、起動時や排気過程で排気されるガスとポンプの油が油煙や油滴となって排出されます。アルバック社製オイルミストトラップ(TM,TMXシリーズ)をご使用になると室内の設備、雰囲気をこのような油滴や油煙で汚すことなく清浄な環境で作業していただけます。

    オイルミストトラップの構造と役割

    オイルミストトラップは、ロータリーポンプの排気口(出口側)に取り付け、排出空気に同伴されるポンプ油の油煙を90%程度取り除く濾過フィルタです。 油煙はフィルタで捕集されることにより元の液体油の状態になり、油はポンプのオイルタンクに戻ります。

    zu_oil-mist-control.gif

    オイルミストトラップ、真空ポンプは、耐圧構造になっていません。 オイルミストトラップの内部に使用しているフィルタエレメントが目詰まりした状態のままで使用を続けると、内部の圧力が上昇し、オイルミストトラップが破裂する恐れがあります。 使用しているフィルタエレメントは、油が酸化することにより目詰まりを起こしやすくなります。また、固形物やポンプ油の劣化を促進する気体を吸入する場合は、目詰まりの頻度が更に高くなります。安全にご使用いただくためにもオイルミストトラップ内部圧力の管理を十分に行い、内部圧力が0.03MPa (G) 以下でご使用くださいますようお願いします。 なお、図1のように圧力計を取り付ける事によって内部圧力を管理する事が可能です。圧力計はオプションで用意しています。詳細は、オイルミストトラップの取扱説明書を今一度ご確認くださいますようお願いいたします。

    zu_oil-mist-control_02.gif

    図1:圧力計をオイルタンクに取り付けた場合

    ガスバラストバルブ(凝縮性ガス排気機能)とは

    水蒸気を吸引する場合の対策として、ガスバラストバルブがあります。 水蒸気や溶剤蒸気などの凝縮性ガスを吸引する場合に有効となる油回転真空ポンプの装備です。
    凝縮性ガスは、吸引された後、ポンプの圧縮・加圧工程で液体化してポンプ油へ混入し、油とともにポンプ内を循環し始めます。このような状態になると、蒸気圧の高い油を使った時と同じ効果が現れ、ポンプの到達圧力が高くなります。また、油の潤滑性が低下するので、シャフトシール部の寿命を縮めることになります。
    ポンプの圧縮・加圧工程の直前でガスバラストバルブから空気あるいは乾燥窒素を入れると、凝縮性ガスは液化せずに排気弁を経由して、空気あるいは乾燥窒素と一所に排気されます。
    ガスバラストバルブを使用する場合には、ポンプ温度が高いほど「ガスバラスト効果」が大きいので、凝縮性ガスを吸引する前にガスバラストバルブを開いて約20分運転し、ポンプ温度を70℃程度に高めてください。温度が低いときの「ガスバラスト効果」は処理能力を下回ります。

    なお、凝縮性ガスを吸引しないときにガスバラストバルブを開けたままにしておくと、ポンプ油の飛散および動力ロスを伴うだけでなく、到達圧力が高くなります。

    また、ガスバラストバルブによる凝縮性ガスの処理能力には限界があり、多量の凝縮性ガスを排気したり、ガスバラストバルブを開けずに凝縮性ガス(油を汚す少量の水分やほかの蒸気を含んだ空気やガス)を排出した後は、ポンプ油に凝縮性ガスが残存します。

    この場合、ガスバラストバルブを開いて空運転すると、油温が上昇して、ガスバラストバルブ効果によりポンプ油を浄化できます。これはガスバラストバルブを閉じた状態で所定の到達圧力が得られるまで行ってください。長時間かけても浄化が進まない場合はポンプ油の交換が必要です。

    gas_ballast_valve.gif

    油回転真空ポンプの1段式と2段式の違いは?

    ドライ真空ポンプの形状で、モータを動力としてポンプ室を2つ組み合わせたもので説明します。

    1段式:
    2つのポンプ室を並列につないで排気量を増やしているものが1段式です。
    ポンプ室が1つであるものは当然1段式となります。

    2段式:
    ポンプ室を直列に2組つないで圧縮比を大きくとったものが2段式です。,.
    現在では、3段式や4段式のものもあります。

    1段式と2段式の比較

    到達圧力排気速度
    1段式高い大きい
    2段式低い小さい

    1段式と2段式のポンプ室の組合わせ

    faq_01_09f.gif

    真空ポンプは屋外で使用できますか?

    屋内での使用を想定して設計しているため、基本的には屋外では使用できません。
    対応出来る可能性もございますので屋外での使用をご検討の場合にはお問い合わせをお願い致します。

    真空ポンプの排気スピードはどうやって計るのですか?

    排気速度Sは導入している気体の流量Qを圧力Pで割ることによって求められます。
    (S=Q/P)

    真空ポンプは多くの種類がありますが、それぞれのポンプがどの圧力領域で使用することができるのか教えてください。

    詳細をまとめたページがございますのでリンク先をご覧ください。


    https://showcase.ulvac.co.jp/ja/how-to/selection-guide/vacuum-pump-guide.html

    ドライ真空ポンプのシールガスやガスバラストガスについて、N2ではなくクリーンドライエアー(CDA)に代えても問題ありませんか?

    CDAを使用する場合、下記の点にご注意ください。
    ①CDAの露点は-60℃以下
    ②CDAと吸気したガスの反応による製品不具合を起こした場合は保証対象外となります。
    ③特に水素(H2)の様な爆発性のガス種や引火性ガスの場合は爆発,燃焼する可能性があります。

    ドライ真空ポンプの運転音を小さくする事は出来ますか?

    オプションで「サイレンサ」を用意している機種もございます。真空ポンプの排気速度に合わせてご選定ください。

    ルーツ型ドライ真空ポンプで防爆モータ仕様はありますか?

    GRシリーズで対応可能(オプション対応)です。
    使用する国/地域によっては、高効率規制等の関係で対応出来ない場合もありますので、詳細仕様についてはお問い合わせください。

    使用中のドライ真空ポンプに、省電力アタッチメント ECO-SHOCK は取り付けられますか?

    ルーツ型ドライ真空ポンプ LRシリーズは、標準の逆流防止弁をECO-SHOCKに付属される逆流防止弁ユニット(取り合い寸法同じ)と交換頂くだけで使用可能となります。その他型式についてはお問い合わせください。

    中大型のドライ真空ポンプの排気側設備検討にあたり、最大排気量を教えてください。

    大気圧(1013hPa)の排気速度が最大排気量となります。詳細は製品ページの排気速度曲線などでご確認をお願いいたします。

    新旧型式相対表 真空ポンプ

    真空ポンプ 旧型式と現行機種相対表

    アルバック社製ポンプの相対表となります。既設ポンプと販売現行機種との相違点をご確認ください。
    製品詳細仕様は、製品情報ページをご覧ください。

    旧製品型式現行機種
    D-240DKVD151
    D-330DKVD201
    D-650DKVD30C
    D-950DKVD40C
    EC403VD40C
    EC603VD60C
    EC803VD90C

    ベルト掛け駆動型のD-330K,D-650K,D-950Kは、排気速度が若干異なります。ご使用の排気条件毎に選定しますのでご相談ください。

    D240DK⇒VD151

    型式D-240DKVD151
    設計排気速度
    m3/h(L/min)
    50HZ14(240)14.4(240)
    60Hz17(290)17.3(288)
    到達圧力 Pa6.7×10-16.7×10-1
    使用油ULVOIL R-7ULVOIL R-7
    冷却方式空冷空冷
    吸気口径KF25KF25
    排気口径G1( PF1G1
    外観寸法 mm LxWxH497x231x251514x170x240

    VDシリーズの詳細仕様はこちら

    D-DKシリーズ⇒VDシリーズ



    型式D-330DKD-650DKD-950DKyajirushi04.gifVD201VD30CVD40C
    設計排気速度
    m3/h(L/min)
    50Hz15(253)30(507)46(760)20.2(336)30(500)40(670)
    60Hz19(309)37(618)56(928)24.2(403)36(600)48(800)
    到達圧力 Pa6.7×10-16.7×10-1
    使用油ULVOIL R-7ULVOIL R-7
    冷却方式空冷空冷
    吸気口径1Bホース口VG40相当VG50相当KF25VG40相当VG40相当
    排気口径G1 1/2(PF1 1/2)G2
    (PF2)
    G1VG40相当VG40相当
          L695695766536660660
    外観寸法  W266268282181210210
      mm   H371357357269324324

    VDシリーズの詳細仕様はこちら

    ECシリーズ⇒VDシリーズ

    型式EC403EC603EC803yajirushi04.gifVD40CVD60CVD90C
    設計排気速度
    m3/h
    (L/min)
    50HZ40(670)60(1000)80(1340)40(670)60(1000)90(1500)
    60Hz48(800)72(1200)96(1600)48(800)72(1200)106(1800)
    到達圧力 Pa6.7×10-16.7×10-1
    使用油ULVOIL R-7000ULVOIL R-7
    冷却方式空冷空冷
    吸気口径VG50相当VG40相当VG50相当
    排気口径VG40相当VG40相当
         L657721775680761831
    外観寸法 W270285296210280280
    mm H370370370324371371

    VDシリーズの詳細仕様はこちら
    ※上記に廃版型式がない場合は、お手数ですが弊社営業担当者へお問い合わせください。

    真空ポンプ セレクションガイド

    真空ポンプを選定するには、まず必要となる排気速度を見積った上でさらにその用途に適した種類の中からポンプを選ぶことが大切です。各種ポンプの用途、特長、性能を一覧にしました。ご使用目的に合わせてお選び下さい。

    圧力単位(Pa)

    pump_bg.jpg

    ドライ真空ポンプ

    lr-hr-ur-series.jpg

    ドライポンプは、油や液体を真空室内に使用しない真空ポンプのため、クリーンな真空が得られます。大気圧から到達圧力までの広範囲で使用可能です。

    アルバックのドライポンプは、研究・開発・生産用途に適したハードプロセス対応モデルからライトプロセスモデルまで幅広いラインナップがあります。
    使用目的・用途・アプリケーションからお選び頂けます。
    どのくらいまで減圧したいか、真空槽の中で何がしたいかによって、お勧めする真空ポンプが変わってきます。
    また真空にしたい空間の大きさによって真空ポンプの大きさも変わってきます。

    油回転真空ポンプ(大型)

    vd-series.jpg

    油回転真空ポンプは、真空ポンプ油を使うことにより回転部の動きを滑らかにしたり、真空封止して気密性を高めることで高い排気性能を実現します。安価、コンパクト、据え付けが容易、油回転真空ポンプ単体で容易に真空が得られるなど、経済性・操作性に優れたポンプです。

    アルバックの油回転真空ポンプは、多種多様な使用用途に応じた幅広いラインナップがあります。
    使用目的・用途・アプリケーションからお選び頂けます。

    油回転真空ポンプ(小型)

    GLS-051.jpg
    小型油回転真空ポンプは、200L/min以下シェアNo1メーカーのアルバック機工社製のポンプです。
    どのくらいまで減圧したいか、真空槽の中で何がしたいかによって、お勧めする真空ポンプが変わってきます。

    メカニカルブースタポンプ

    pmb-d.jpg
    メカニカルブースターポンプは、油回転ポンプやドライポンプなどの粗引きポンプと組み合わせることにより、粗引きポンプの排気速度が落ち込む圧力領域において排気速度を大幅にアップさせることができます。
    アルバックのメカニカルブースタポンプは、多種多様な用途に応じた幅広いラインナップがあります。使用条件によって空冷でもご利用いただけます。

    ターボ分子ポンプ

    utm-series.jpg

    ターボ分子ポンプは、分子流領域において排気速度が一定で、連続したガス排気が可能です。また、再生作業などの保守の必要が無く、水素・ヘリウムに対して高い排気性能を実現します。

    スパッタイオンポンプ

    pst-400cx2400ax2.jpg
    スパッタイオンポンプは超高真空の発生に利用される代表的なポンプのひとつです。
    イオン真空ポンプは、陽極と陰極で構成されたポンプセルに電場を印加する簡単な動作原理のため、機械的振動や騒音なく 超・極高真空を得られます。また、広く分析機器、加速器等に使用され完全オイルフリーで取り付け方法を選びません。

    ULVACは、極・超高真空領域での排気特性を強化した新型素子(アクター素子) の開発と磁場の最適化を図ることにより『アクターポンプ PSTシリーズ』を開発しました。

    オイルセレクションガイド

    oil_r-spr_series.jpg
    油回転真空ポンプ、油拡散真空ポンプに使用する純正油「ULVOIL」は、真空ポンプの性能をフルに引き出すことばかりではなく、ポンプの寿命やメンテナンス期間の延長、運転経費までを含めたトータルコストの低減を実現します。
    ドライ真空ポンプの1段式と2段式の違いは?

    ドライ真空ポンプの形状で、モータを動力としてポンプ室を2つ組み合わせたもので説明します。

    1段式:
    2つのポンプ室を並列につないで排気量を増やしているものが1段式です。
    ポンプ室が1つであるものは当然1段式となります。

    2段式:
    ポンプ室を直列に2組つないで圧縮比を大きくとったものが2段式です。,.
    現在では、3段式や4段式のものもあります。

    1段式と2段式の比較

    到達圧力排気速度
    1段式高い大きい
    2段式低い小さい

    1段式と2段式のポンプ室の組合わせ

    faq_01_09f.gif

    真空ポンプにはどのような種類がありますか?

    一般にポンプとは流体に圧力や速度などを付与しながらこれを輸送する装置をいいます。

    真空技術でいうポンプの場合は、これよりももっと広い意味が与えられています。

    この一般的なポンプの定義のとおり、真空装置内の気体をより高い圧力の外部へ輸送し、排出するものがあります。たとえば、油回転真空ポンプやメカニカルブースタポンプのような機械式真空ポンプ、あるいは油拡散ポンプやエゼクタポンプのような蒸気噴射式真空ポンプです。ほかに気体を外部に運び出すのではなく、ただ気体分子を捕えてしまうだけのものがありますが、これは気体に対して受動的であり、厳密にはポンプとはいえないかもしれません。

    これらにはゲッタ作用を利用した真空ポンプや低温における吸着、凝結作用を利用した真空ポンプなどがあります。

    つまり真空ポンプとは、気体を除去する機能をもつ装置であるということができます。作動原理によって真空ポンプを大別すると気体輸送式真空ポンプ、気体溜込式真空ポンプになります。

    これらの真空ポンプの種類をまとめると図のようになります。

    真空ポンプの種類

    kiko_1_1hyou.gif

    該非判定結果報告書ダウンロード

    該非判定結果 油回転真空ポンプ

    SDSダウンロード

    この製品に関するお問い合わせ

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