油回転真空ポンプ

VSシリーズ

VS

アルバック

VSシリーズは、1段 回転翼型のダイレクト駆動式油回転真空ポンプです。

VS1501 / VS2401 :
強制給油 ( 油循環系統 ) と冷却水系統の強化により、高吸入圧での排気性能が安定している油回転真空ポンプです。繰り返し排気の多いプロセスなどをはじめとして幅広い用途でご使用いただけます。

VS650B / VS750B :
大排気量で安定した排気性能が得られ、低振動であることから基礎工事などのポンプ設置に伴う負担を軽減することが可能な油回転真空ポンプです。
冷却方式は空冷と水冷の選択ができますので、設置環境に合わせてお選びいただけます。

特長

  • 高効率(IE3)マルチ電圧モータを採用:200~240V/380~460Vの幅広い電圧を1台のモータで対応します。
  • 低振動構造:揺動ピストン型と比べ低振動構造。建屋上層階設置に最適です。
  • 強制給油方式を採用:大気圧付近でも排気速度が安定。大気⇔真空の繰り返し連続運転などに最適です。

用途

  • 蒸着、スパッタリング、イオンプレーティング
  • 真空包装、真空吸着・搬送、真空形成、真空鋳造
  • 真空含浸、真空鋳造
  • 真空熱処理炉、焼結炉、ろう付炉
  • 真空乾燥、凍結乾燥、真空脱気
  • ガス置換・充填、真空断熱
  • リークテスト装置、その他

仕様

型式 VS1501 VS2401
設計排気速度 50Hz 150m3/h ( 2500 L/min) 240m3/h ( 4000 L/min )
60Hz 180m3/h ( 3000 L/min) 288m3/h ( 4800 L/min )
到達圧力 *1 GP閉 ≦ 5.3Pa
GP開 ≦ 80Pa
モータ *2 形式 全閉外扇形 三相誘導電動機
高効率クラス IE3
kW (極数) 5.5kW(4P) 7.5kW(4P)
電圧 50Hz : 200~240 / 380~415
60Hz : 200~240 / 380~460
所要油量 8.0~10.5L
使用油 *3
ULVOIL R-72
冷却方式 水冷
冷却水 一次側圧力 ≦ 0.5 MPa
入口差圧 ≦ 0.1 MPa
冷却水量 4L/min 5L/min
冷却水温度 5~30℃
吸気口サイズ JIS B 2290 VG80 相当
排気口サイズ JIS B 2290 VG50 相当
外形寸法 W×D×H 333 x 919 x 460mm 333 x 1039 x 460mm
質 量 *4 240kg 280kg
標準付属品 油1台分、取扱説明書1部
推奨オイルミストトラップ (オプション) TM-3 ( VS用 ) TM-4 ( VS用 )
オプション オイルミストトラップ、ガスバラストバルブ、油戻し機構
注) 本仕様は、Si 単位系を採用しています。非 Si 単位系との換算は次のようになります。
到達圧力:5.3Pa=4 x 10-2 Torr

*1 ピラニ真空計にて測定。 ( マクラウド真空計では約 5.3 x 10-1 Pa になります。)
*2 出荷時は 200V クラスの Δ結線となっております。ご使用の電圧が 400V クラスの場合は Y結線に変更してからお使い下さい。
*3 他の油の種類の用意もありますので、お問い合わせください。
*4 全閉外扇型モータ組付時の質量です。

型式 VS650B-A VS650B-W VS750B-A VS750B-W VS650B-WL *1
設計排気速度 50Hz 650 m3/h ( 10,833 L/min ) 750 m3/h ( 12,500 L/min ) 600 m3/h ( 10,000 L/min )
60Hz 750 m3/h ( 12,500 L/min ) 運転できません 運転できません
到達圧力 *2 GP閉 ≦ 8.0 Pa
GP開 ≦ 70 Pa
最大水蒸気許容圧力 GP開 50Hz 4,500 Pa 2,500 Pa 5,500 Pa 2,500 Pa 2,500 Pa
60Hz 5,500 Pa 2,500 Pa 運転できません 2,500 Pa
最大水蒸気処理量 GP開 50Hz 17 g/h 11 g/h 24 g/h 13 g/h 11 g/h
60Hz 24 g/h 13 g/h 運転できません 運転できません 11 g/h
モータ *3 形式 全閉外扇形 三相誘導電動機
高効率クラス IE3
出力 kW (極数) 22 ( 4 )
電圧 50Hz 200 ~ 240 V / 380 ~ 415 V
60Hz 200 ~ 240 V / 380 ~ 460 V 運転できません 運転できません 200 ~ 240 V /
380 ~ 460 V
使用油 ULVOIL R-72
所要油量 23 ~ 27 L 25 ~ 30 L 23 ~ 27 L 25 ~ 30 L 25 ~ 30 L
冷却方式 空冷 水冷 空冷 水冷 水冷
冷却水 一次側圧力 - ≦ 0.5 Mpa - ≦ 0.5 Mpa ≦ 0.5 Mpa
出入口差圧 - ≦ 0.1 Mpa - ≦ 0.1 Mpa ≦ 0.1 Mpa
冷却水量 - ≦ 3.0 L/min - ≦ 3.0 L/min ≦ 3.0 L/min
冷却水温度 - 5 ~ 30 ℃ - 5 ~ 30 ℃ 5 ~ 30 ℃
吸気口径 DN 100 ISO-K ( オプション VG100 )
排気口径 DN 100 ISO-K ( オプション VG100 )
外形寸法 W×D×H 1490×905×705 mm 1490×841×705 mm 1490×905×705 mm 1490×841×705 mm 1490×841×705 mm
質量 806 kg 800 kg 802 kg 796 kg 820 kg
適合規格 -
標準付属品 油 1台分、取扱説明書 1部
オプション 電圧指定モータ、吸排気口JISフランジ *4
電磁弁式ガスバラストバルブ、ハンドリフター用ベース ( 防振ゴム付き )
注)本仕様は、Si 単位系を採用しています。非 Si 単位系との換算は次のようになります。
到達圧力: 8.0 Pa = 6 × 10-2 Torr

*1 VS650B-WL は 50 Hz/ 60 Hz の指定が必要です。モータプーリの変更により、50 Hz/ 60 Hz で同じ排気速度にしています。
*2 ピラニ真空計にて測定。 ( マクラウド真空計では約 0.8 Pa になります)
*3 出荷時は 200V クラスの Δ結線となっております。ご使用の電圧が 400V クラスの場合は Y結線に変更してからお使い下さい。

排気速度曲線

  • VS1501

    VS1501_curve.png

  • VS2401
    VS2401_curve.png
  • VS650B
    VS650B_curve?R.png

寸法図

  • VS1501,VS2401
    VS_size_j.png
  • VS650
    VS650_size_j.png

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