油回転真空ポンプ

VSシリーズ

VS2401

アルバック

VSシリーズは、1段式の回転翼型油回転真空ポンプです。
構造の単純化により小型、軽量化を実現し、更に振動も大幅に低減しましたので、ポンプ設置にともなう負担を軽減することができます。
また、油循環系統と冷却水系統の強化により、高吸入圧での排気性能が安定していますので、繰り返し排気の多いプロセスなどをはじめとして幅広い用途でご使用いただけます。

特長

  • 低振動・低騒音
  • 軽量・コンパクト
  • 全圧力領域での連続運転に対応可能
  • 優れたメンテナンス性

用途

  • 蒸着、スパッタリング、イオンプレーティング
  • 真空包装、真空吸着・搬送、真空形成、真空鋳造
  • 真空含浸、真空鋳造
  • 真空熱処理炉、焼結炉、ろう付炉
  • 真空乾燥、凍結乾燥、真空脱気
  • ガス置換・充填、真空断熱
  • リークテスト装置、その他

仕様

型式 VS1501 VS2401
設計排気速度 50Hz 150m3/h(2500L/min) 240m3/h(4000L/min)
60Hz 180m3/h(3000L/min) 288m3/h(4800L/min)
到達圧力 *1 5.3Pa
モータ *2 形式 全閉外扇型フランジモータ
kW (極数) 5.5kW(4P) 7.5kW(4P)
電圧/周波数 200V/50,60Hz 220V/60Hz
所要油量 8.0~10.5L
使用油 *3 ULVOIL R-7
冷却水 水圧 ≦ 0.5MPa (ゲージ圧)
水量 4L/min 5L/min
温度 5~30℃
吸気口サイズ JIS B 2290 VG80 相当
排気口サイズ JIS B 2290 VG50 相当
外形寸法 W×D×H 333 x 919 x 460mm 333 x 1039 x 460mm
質 量 *4 240kg 280kg
標準付属品 モータ(組付済)、油1台分、取扱説明書1部
オプション オイルミストトラップ、ガスバラストバルブ、油戻し機構
注) 本カタログは、SI単位系を採用しています。非SI単位系との換算は次のようになります。
到達圧力:5.3Pa=4 x 10-2 Torr
冷却水圧:0.5MPa=5kg/cm2
*1 ピラニ真空計にて測定
*2 オプションにて、安全増防爆型、耐圧防爆型フランジモータも対応できます。
*3 他の油の種類の用意もありますので、お問い合わせください。
*4 全閉外扇型モータ組付時の質量です。

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