油回転真空ポンプ

VSシリーズ

VS750A

アルバック

大排気量で安定した排気性能が得られ、低振動であることから基礎工事などのポンプ設置に伴う負担を軽減することが可能です。
また、冷却方式は空冷と水冷の選択ができますので、設置環境に合わせてお選び頂けます。

特長

  • 大排気量の1段式ベーン型ポンプ
    メカニカルブースターポンプと組み合わせることにより、さらに大排気量の排気が可能になります。
  • 揺動ピストンポンプのような低周波領域の振動が低減でき、工場建屋の基礎工事が不要になりました。上層階への設置が可能です。
  • 大容量のオイルタンク(油量:Max30L)によりオイル交換サイクルが伸びます。さらにオイルタンク内のメンテナンス用に大きな開口部を設けておりますので、オイル交換も容易に行えます。
  • オイルタンク内にオイルミストフィルタを内蔵しています。カートリッジ式のフィルタエレメントは交換が容易に行えます。
  • 設置環境に合わせて空冷と水冷の選択ができます。油温を下げるためオイルクーラを採用しています。

用途

  • 蒸着、スパッタリング、イオンプレーティング
  • 真空乾燥、凍結乾燥、真空脱気
  • リークテスト装置
  • ガス置換、充填、真空断熱
  • 熱処理炉、溶解炉
  • その他各種真空装置

仕様

型式
VS650A-A VS650A-W VS750A-A VS750A-W
最大排気速度 m3/h(L/min) 50Hz 650(10833) 750(12500)
60Hz 750(12500) 運転できません
到達圧力 *1 Pa GP 閉 8 Pa
GP 1箇所 開 ≦50
GP 2箇所 開 ≦60
水蒸気許容値 *2 Pa GP
1箇所 開
50Hz 4500 2500 5500 2500
60Hz 5500 2500 運転できません
GP
2箇所 開
50Hz 6000 3800 7500 4000
60Hz 7500 4000 運転できません
水蒸気処理量 *2 kg/h GP 1箇所 開 50Hz 17 11 24 13
60Hz 24 13 運転できません
GP 2箇所 開 50Hz 26 15 34 19
60Hz 34 19 運転できません
モータ *3 形式 全閉外扇形 三相誘導電動機
出力kw(Poles) 22(4)
消費電力 kW *6 50Hz 200~240/380~415
60Hz 200~240/380~460 運転できません
使用油 *4 ULVOIL R-7
所要油量 L 23~27 25~30 23~27 25~30
冷却方式 空冷 水冷 空冷 水冷
冷却水 一次側圧力 MPa ≧0.5 ≧0.5
出入口差圧 MPa ≧0.1 ≧0.1
冷却水量 L/min ≧3.0 ≧3.0
冷却水温度 ℃ 5~30 5~30
吸気口 DN100 ISO-K
排気口 DN100 ISO-K
質量 kg 806 800 802 796
外形寸法 W×D×H mm 1490×905×705 1490×841×705 1490×905×705 1490×841×705
適合規格 CE/cTUVus
標準付属品 油1台分、取扱説明書1部
オプション 安全増防爆型モータ・耐圧防爆型モータ・電圧指定モータ・JISフランジ *5 ・ガスバラストガス2(手動)

注) 本仕様表は、SI単位系を採用しています。非SI単位系との換算は次のようになります。
8.0Pa=6×10-2Torr

*1 ピラニ真空計にて測定(マクラウド真空計では約0.8Paになります)
*2 水蒸気許容値および水蒸気処理量は以下の冷却水量で測定しています。なお冷却水入口温度は26°Cです。

メカニカルブースターポンプ+油回転真空ポンプ

型式
PMB2400D
+VS650A-A
PMB2400D
+VS650A-W
PMB2400D
+VS750A-A
PMB2400D
+VS750A-W
最大排気速度 m3/h(L/min) 50Hz 2500(41667) 3100(51667)
60Hz 3100(51667) 運転できません
到達圧力 *1 Pa GP 閉 ≦0.8
GP 1箇所 開 ≦5
GP 2箇所 開 ≦6
水蒸気許容値 *2 Pa GP
1箇所 開
50Hz 1200 750 1600 700
60Hz 1600 700 運転できません
GP
2箇所 開
50Hz 2500 1200 2800 1200
60Hz 2800 1200 運転できません
水蒸気処理量 *2 kg/h GP
1箇所 開
50Hz 16 10 24 11
60Hz 24 11 運転できません
GP
2箇所 開
50Hz 26 15 34 19
60Hz 34 19 運転できません
モータ *3 形式 全閉外扇形 三相誘導電動機
出力 kW(Poles) MBP:7.5(2)+ RP:22(4)
消費電力 kW *6 50Hz 9 12
60Hz 12 運転できません
電圧 V 50Hz 200~240/380~415 200~240/380~415
60Hz 200~240/380~460 運転できません
使用油 *4 MBP:ULVOIL R-4+RP:ULVOIL R-7
所要油量 L MBP:3.6~4.0
RP:23~27
MBP:3.6~4.0
RP:25~30
MBP:3.6~4.0
RP:23~27
MBP:3.6~4.0
RP:25~30
冷却方式 空冷 *7 水冷 空冷 *7 水冷
冷却水 一次側圧力 MPa ≧0.5 ≧0.5
出入口差圧 MPa ≧0.1 ≧0.1
冷却水量 L/min MBP:?3.0
PR:?3.0
≧3.0 MBP:≥3.0
PR:≧3.0
冷却水温度
5~30 5~30
吸気口 VG200/DN 160 ISO-K (オプション)
排気口 DN100 ISO-K
質量 kg 1076 1070 1072 10666
外形寸法 W×D×H mm 1490×905×1260 1490×841×1260 1490×905×1260 1490×841×1260td>
適合規格 CE/cTUVus
標準付属品 油1台分、取扱説明書1部
オプション [MBPについて]
安全増防爆型モータ・耐圧防爆型モータ・電圧指定モータ・ISOフランジ
・大気圧駆動 (インバータ)・MBPアダプタ

注) 本仕様表は、SI単位系を採用しています。非SI単位系との換算は次のようになります。
8.0Pa=6×10-2Torr

*1 ピラニ真空計にて測定(マクラウド真空計では約0.8Paになります)
*2 水蒸気許容値および水蒸気処理量は以下の冷却水量で測定しています。なお冷却水入口温度は26°Cです。

型式
VS650A-W VS750A-W
GP 1箇所開 50Hz 3 L/min. 5 L/min.
60Hz 5 L/min.
GP 2箇所開 50Hz 3 L/min. 5 L/min.
60Hz 5 L/min.

*3 オプションにて、安全増防爆型、耐圧防爆型モータも対応できます。ただし、マルチ電圧は選定できません。
*4 他の種類の油も用意しておりますので、お問い合わせください。
*5 吸排気口をJISフランジとした場合、配管取合の寸法が変化します。
*6 到達圧力時の数値です。
*7 インバータ付きのみとなります。400~50000Paの圧力領域において、水冷仕様と比較して排気速度が低下します。

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