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油回転真空ポンプ
VS1501 / VS2401
アルバック
VS1501／VS2401 は回転翼型（1段式）の油回転真空ポンプです。水冷と強制給油方式により高負荷でも安定した排気性能が得られます。
また、大型オイルレベルゲージの採用などメンテナンス性も考慮した設計となっています。
また、大型オイルレベルゲージの採用などメンテナンス性も考慮した設計となっています。
特長
- 水冷と強制給油方式の採用
高負荷運転時でもシリンダーへの油供給が満たされ、差圧給油方式と比べ安定した排気性能が得られます。 - 油圧式オイルアンチサックの採用
ポンプ停止時、オイルタンクから吸気側への油の逆流を抑える事ができます。 - メンテナンスを考慮した設計
油の状態を監視しやすい大型オイルレベルゲージの採用の他、オイルタンク洗浄用、排気弁交換用などのメンテナンスカバーが付いています。
用途
- 光学膜蒸着装置
- リフレクタ蒸着装置
- 加飾用蒸着装置
- フィルム巻取り蒸着装置
- インラインスパッタ装置
- ベーク炉 / 熱処理炉
- 凍結乾燥装置
- リークテスト装置
- スペースチャンバー
仕様
| 型式 | VS1501 | VS2401 | |||
| 設計排気速度 | 50Hz | m3 / hr (L/min) | 150（2500） | 240（4000） | |
| 60Hz | 180（3000） | 288（4800） | |||
| 到達圧力 | GP閉 | Pa | ≦ 5.3 | ||
| GP開 | ≦ 80 | ||||
| 消費電力(到達圧力時） | 50Hz | kW | 2.3 | 2.8 | |
| 60Hz | 2.9 | 3.6 | |||
| モータ | 型式 | 全閉外扇形 三相誘導電動機 | |||
| 容量 | kW (Poles） | 5.5（4） | 7.5（4） | ||
| 電圧 | 50Hz | V | 200～240 / 380～415 | ||
| 60Hz | 200～240 / 380～460 | ||||
| 騒音値※1（到達圧力時） | 50Hz | dB | 67 | 73 | |
| 60Hz | 67 | 73 | |||
| 使用油 | ULVOIL R-72 | ||||
| 所要油量 | L | 8～10.5 | |||
| 冷却方式 | 水冷 | ||||
| 冷却水 | 一次側圧力 | MPaG | ≦0.5 | ||
| 出入口差圧 | ≧0.1 | ||||
| 冷却水量 | L/min | ≧4.0 | ≧5.0 | ||
| 冷却水温度 | ℃ | 5～30 | |||
| 冷却水Δｔ | ≦10 | ||||
| 吸気口フランジ | VG80相当 | ||||
| 排気口フランジ | VF50相当 | ||||
| 質量 | kg | 232 | 271 | ||
| 外形寸法 W×D×H | mm | 300×941×460 | 333×1061×460 | ||
| 海外安全規格 | ー | ||||
注意：本資料は、SI単位系を採用しています。
※1 ISO2151に基づいて測定・計算した平均音圧レベルになります。
排気速度曲線
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寸法図
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