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油回転真空ポンプ

VS1501 / VS2401

アルバック

VS1501／VS2401 は回転翼型（1段式）の油回転真空ポンプです。水冷と強制給油方式により高負荷でも安定した排気性能が得られます。
また、大型オイルレベルゲージの採用などメンテナンス性も考慮した設計となっています。

VS1501
VS2401

特長

水冷と強制給油方式の採用
高負荷運転時でもシリンダーへの油供給が満たされ、差圧給油方式と比べ安定した排気性能が得られます。
油圧式オイルアンチサックの採用
ポンプ停止時、オイルタンクから吸気側への油の逆流を抑える事ができます。
メンテナンスを考慮した設計
油の状態を監視しやすい大型オイルレベルゲージの採用の他、オイルタンク洗浄用、排気弁交換用などのメンテナンスカバーが付いています。

用途

光学膜蒸着装置
リフレクタ蒸着装置
加飾用蒸着装置
フィルム巻取り蒸着装置
インラインスパッタ装置
ベーク炉 / 熱処理炉
凍結乾燥装置
リークテスト装置
スペースチャンバー

仕様

型式				VS1501	VS2401
設計排気速度		50Hz	m³/ hr (L/min)	150（2500）	240（4000）
		60Hz		180（3000）	288（4800）
到達圧力	GP閉		Pa	≦ 5.3
	GP開			≦ 80
消費電力(到達圧力時）		50Hz	kW	2.3	2.8
		60Hz		2.9	3.6
モータ	型式			全閉外扇形　三相誘導電動機
	容量		kW (Poles）	5.5（4）	7.5（4）
	電圧	50Hz	V	200～240 / 380～415
		60Hz		200～240 / 380～460
騒音値^※1（到達圧力時）		50Hz	dB	67	73
		60Hz		67	73
使用油				ULVOIL R-72
所要油量			L	8～10.5
冷却方式				水冷
冷却水	一次側圧力		MPaG	≦0.5
	出入口差圧			≧0.1
	冷却水量		L/min	≧4.0	≧5.0
	冷却水温度		℃	5～30
	冷却水Δｔ			≦10
吸気口フランジ				VG80相当
排気口フランジ				VG50相当
質量			kg	232	271
外形寸法　W×D×H			mm	300×941×460	333×1061×460
海外安全規格				ー

注意：本資料は、SI単位系を採用しています。

※1　ISO2151に基づいて測定・計算した平均音圧レベルになります。

排気速度曲線

VS1501,VS2401

寸法図

VS1501,VS2401