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油回転真空ポンプ
VS300A-W
アルバック
VS300A-Wは、回転翼型（1段式）の油回転真空ポンプです。クラス最小のフットプリントで、メカニカルブースタポンプの直乗せも可能となりました。また、オイルミストセパレータとオイル戻し機構が内蔵しており、長期間安定した排気性能が得られます。また、オイルやエレメント交換などメンテナンス性も考慮した設計となっています。
特長
- クラス最小のフットプリント
□874×404mm のコンパクト設計です。 - メカニカルブースタポンプ（MBP）直載せ可能
MBPマウントキットにより、架台不要でMBPの搭載が可能です。 - オイルミストセパレータ内蔵
油回収機構も内臓されています。 - 外部への油漏れが起こりにくい構造
オイルシールとシールドベアリングの2段階で、外部への油漏れを防止します。 - オリジナルのIE3高効率マルチ電圧モータ搭載
1台のモータで幅広い電圧に対応可能です。
用途
- 光学膜蒸着装置
- リフレクタ蒸着装置
- 加飾用蒸着装置
- フィルム巻取り蒸着装置
- インラインスパッタ装置
- ベーク炉 / 熱処理炉
- 凍結乾燥装置
- リークテスト装置
- スペースチャンバー
仕様
| 型式 | VS300A-W | |||
| 設計排気速度 | 50Hz | m3 / hr (L/min) | 250 (4,166) | |
| 60Hz | 300 (5,000) | |||
| 到達圧力*１ | GP閉 | Pa | ≦15 | |
| GP開 | ≦200 | |||
| 消費電力(到達圧力時） | 50Hz | kW | 2.8 | |
| 60Hz | 3.1 | |||
| モータ | 型式 | 全閉外扇形 三相誘導電動機 | ||
| 容量 | kW (Poles） | 7.5（４） | ||
| 電圧 | 50Hz | V | 200～240 / 380～415 | |
| 60Hz | 200～240 / 380～460 | |||
| 騒音値*２（到達圧力時） | 50Hz | dB | 70 | |
| 60Hz | 74 | |||
| 使用油 | ULVOIL R-72 | |||
| 所要油量 | L | 10～15 | ||
| 冷却方式 | 水冷 | |||
| 冷却水 | 一次側圧力 | MPaG | ≦0.3 | |
| 出入口差圧 | ≧0.1 | |||
| 冷却水量 | L/min | ≧3.0 | ||
| 冷却水温度 | ℃ | 5～30 | ||
| 冷却水Δｔ | ≦25 | |||
| 吸気口フランジ | DN 63 ISO-F | |||
| 排気口フランジ | G2 | |||
| 質量 | kg | 270 | ||
| 外形寸法 W×D×H | mm | 404×871×585 | ||
| 海外安全規格 | CE、 cTUVus | |||
注意：本資料は、SI単位系を採用しています。
*１ 到達圧力（GP閉）時はスローリークさせています。スローリークバルブを閉じると≦8Paになります。
*２ ISO2151に基づいて測定・計算した平均音圧レベルになります。
排気速度曲線
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