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油回転真空ポンプ
VS650B / VS750B
アルバック
VS650B／VS750B は回転翼型（1段式）の油回転真空ポンプです。空冷／水冷の選択が出来る他、メカニカルブースタポンプの組み合わせで更に大排気量が得られます。
また、オイルミストセパレータとオイル戻し機構が内蔵しており、長期間安定した排気性能が得られます。また、オイルやエレメント交換などメンテナンス性も考慮した設計となっています。
また、オイルミストセパレータとオイル戻し機構が内蔵しており、長期間安定した排気性能が得られます。また、オイルやエレメント交換などメンテナンス性も考慮した設計となっています。
特長
- メカニカルブースタポンプ（MBP）直載せ可能
MBPマウントキットにより、架台不要でMBPの搭載が可能となりました。 - サーモスタットを標準搭載
サーモスタットを利用することでポンプの異常な温度上昇を検知し、オイル量の減少やポンプの異常をお知らせします。 - オイルミストフィルタ内臓大型オイルタンク
大型オイルタンク（油量：23~30L）で油の交換頻度を少なくします。
オイルタンク内にカートリッジ式で交換容易なオイルミストフィルタを内蔵しています。
オイルミストフィルタで回収した油は自動的にポンプに戻します。
オイルフィルタ採用でオイルに混ざるダストを除去します。
用途
- 光学膜蒸着装置
- リフレクタ蒸着装置
- 加飾用蒸着装置
- フィルム巻取り蒸着装置
- インラインスパッタ装置
- ベーク炉 / 熱処理炉
- 凍結乾燥装置
- リークテスト装置
- スペースチャンバー
仕様
| 型式 | VS650B-A | VS650B-W | VS650B-WL※1 | VS750B-A | VS750B-W | |||
| 設計排気速度 | 50Hz | m3 / hr (L/min) | 650（10,833） | 600（10,000） | 750（12,500） | |||
| 60Hz | 750（12,500） | 運転できません | ||||||
| 到達 圧力 |
GP閉 | Pa | ≦ 8 | |||||
| GP開 | ≦ 70 | |||||||
| 消費電力 (到達圧力時） |
50Hz | kW | 8 | 11 | ||||
| 60Hz | 11 | ー | ||||||
| モータ | 型式 | 全閉外扇形 三相誘導電動機 | ||||||
| 容量 | kW (Poles） |
22（4） | ||||||
| 電圧 | 50Hz | V | 200～240 / 380～415 | |||||
| 60Hz | 200～240 / 380～460 | |||||||
| 騒音値※2 （到達圧力時） |
50Hz | dB | 75 | 72 | 80 | |||
| 60Hz | 80 | ー | ||||||
| 使用油 | ULVOIL R-72 | |||||||
| 所要油量 | L | 23～27 | 25～30 | 23～27 | 25～30 | |||
| 冷却方式 | 空冷 | 水冷 | 空冷 | 水冷 | ||||
| 冷却水 | 一次側圧力 | MPaG | ー | ≦0.5 | ー | ≦0.5 | ||
| 出入口差圧 | ー | ≧0.1 | ー | ≧0.1 | ||||
| 冷却水量 | L/min | ー | ≧3.0 | ー | ≧3.0 | |||
| 冷却水温度 | ℃ | ー | 5～30 | ー | 5～30 | |||
| 冷却水Δｔ | ー | ≦60 | ー | ≦60 | ||||
| 吸気口フランジ | DN 100 ISO-K | |||||||
| 排気口フランジ | DN 100 ISO-K | |||||||
| 質量 | kg | 約 820 | ||||||
| 外形寸法 W×D×H | mm | 1490×905 ×705 |
1490×841×705 | 1490×905 ×705 |
1490×841 ×705 |
|||
| 海外安全規格 | ー | |||||||
注意：本資料は、SI単位系を採用しています。
※1 VS650B-WLは50Hz／60Hzの指定が必要です。モータプーリの変更により、50Hz／60Hzで同じ排気速度にしています。
※2 ISO2151に基づいて測定・計算した平均音圧レベルになります。
排気速度曲線
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寸法図
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