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振り子バルブ

振り子バルブの導入・購入・検討について

振り子バルブは、アルバックが独自の技術により開発した大型のゲートバルブです。
ディスプレイ成膜装置などの大型真空装置に対応可能です。


振り子バルブ

VFR

アルバック独自の技術により開発された大型振り子バルブ(ゲートバルブ)です。
ディスプレイ成膜装置などの大型真空装置に対応可能です。

振り子バルブ

VFR-400

アルバック独自の技術により開発された大型振り子バルブ(ゲートバルブ)です。
ディスプレイ成膜装置などの大型真空装置に対応可能です。

振り子バルブ

VFR-500

アルバック独自の技術により開発された大型振り子バルブ(ゲートバルブ)です。
ディスプレイ成膜装置などの大型真空装置に対応可能です。

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