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振り子バルブ

複動式

VFRシリーズ

VFR

アルバック

アルバック独自の技術により開発された大型振り子バルブ（ゲートバルブ）です。
ディスプレイ成膜装置などの大型真空装置に対応可能です。

特長

  • アルバック独自の機構
    機械的なロック機構を持たない独自のシール機構と逆圧キャンセル機構を採用
    パーティクルの発生原因となる摺動部分は極めて少ない構造
    開閉動作時・シール時の衝撃（振動）はほとんど無し
  • 優れたメンテナンス性
    装置、ポンプからバルブを外さずに、バルブケースの着脱が可能
    ケースを外した状態から、ボルトを1本外すことによって弁体ユニットの着脱が可能
  • 取付場所を選ばない設計
    VFRシリーズの取付姿勢は360度自由

用途

  • 大型ディスプレイ製造装置
  • 有機EL製造装置
  • その他真空装置のメインバルブ・仕切バルブ

仕様

型式 VFR-400 VFR-500
呼び口径 Φ400mm Φ500mm
接続フランジ（JIS B2290相当） VF400 VF500
開閉仕様 2位置
開閉動作原理 圧空作動式
開閉動作時間（2位置仕様） 8s 以下 12s 以下
弁板シール性能 逆圧対応
弁板シール可能最大差圧(正圧時) 0.12 MPa
弁板シール可能最大差圧(逆圧時) 0.12 MPa
開閉許容最大差圧(正圧時) 0.5 kPa
開閉許容最大差圧(逆圧時) 0.5 kPa
開放コンダクタンス 50000L/s 90000L/s
使用圧力範囲 1.0×10-5Pa～0.12MPa(abs)
ベーキング許容温度（静止時） バルブボディ 120℃ 以下
シリンダ 80℃ 以下
動作環境温度 10～80℃
使用流体温度 10～80℃
シリンダ供給圧空圧力 0.5～0.7MPaG
圧空供給口径 Φ8管継手
メンテナンスサイクル 10万回
取付姿勢 自由
主要部品材質 バルブボディ AC4CH-T6
弁板 AC4CH-T6
シール部品材質 真空側 フッ素ゴム
油脂類 Z300グリス
総質量 98kg 155kg
面間寸法 150mm 170mm

寸法図

  • VFR-400VFR-400_jp_size.png
  • VFR-500VFR-500_jp_size.png
新旧型式相対表　真空バルブ

バルブ　旧型式と現行機種相対表

アルバックの真空アングルバルブ（L型バルブ）は、開閉は複動・単動シリンダに手動まで、接続フランジタイプは4種類、サイズは16A（5/8inch）～900A（36inch）までと幅広いニーズにお応えできるラインアップです。

新シリーズの小型アングルバルブ16A（5/8inch）～350A（14inch）はSUS製に統一、現行のJISフランジ仕様に加え、ISOフランジを充実させました。
ご使用の真空アングルバルブ（L型バルブ）と販売現行機種の型式及び相違点をご確認いただけます。

　　　　 旧製品型式 現行機種
VLP-U VLP-US VLP-SA
外観 材質 SS400 SUS304 SUS304
外面表面処理 塗装 GBB バフ研磨
内面表面処理 Niメッキ 電解研磨 電解研磨
シール材 軸シール Oリング／NBR Oリング／FKM Oリング／FKM
ボンネットシール Oリング／NBR Oリング／FKM Oリング／FKM
弁体シール Oリング／NBR Oリング／FKM Oリング／FKM
シリンダー 材質 アルミニウム合金 アルミニウム合金 アルミニウム合金
空圧[MPaG] 0.45～0.55 0.45～0.55 0.40～0.60
推奨 リードSW SMC SMC W8H

※シリンダーの接続口は、「圧空供給口径の互換性」一覧表をご確認ください。
※電磁弁は、「バルブ駆動用推奨電磁弁」一覧表ご確認ください。
※500A（20inch）以上の大型真空アングルバルブは、SS製（Oリングはニトリルゴム：NBR）で統一です。

　　　　 旧製品型式 現行機種
VULP VLP-SB
外観 材質 SUS304 SUS304
外面表面処理 GBB バフ研磨
内面表面処理 電解研磨 電解研磨
シール材 軸シール 溶接ベローズ 溶接ベローズ
ボンネットシール Oリング／FKM Oリング／FKM
弁体シール Oリング／FKM Oリング／FKM
シリンダー 材質 アルミニウム合金 アルミニウム合金
空圧[MPaG] 0.45～0.55 0.40～0.60

※シリンダーの接続口は、「圧空供給口径の互換性」一覧表をご確認ください。

　　　　 旧製品型式 現行機種
VULP-CM VLP-MB
外観 材質 SUS304 SUS304
外面表面処理 GBB バフ研磨
内面表面処理 電解研磨 電解研磨
シール材 軸シール 溶接ベローズ 溶接ベローズ
ボンネットシール メタルガスケット メタルガスケット
弁体シール Oリング／FKM Oリング／FKM
シリンダー 材質 アルミニウム合金 アルミニウム合金
空圧[MPaG] 0.45～0.55 0.40～0.60

※シリンダーの接続口は、「圧空供給口径の互換性」一覧表をご確認ください。

　　　　 旧製品型式 現行機種
VLH-U VLH-US VULH VLH-SB
外観 材質 SS400 SUS304 SUS304 SUS304
外面表面処理 塗装 GBB GBB バフ研磨
内面表面処理 Niメッキ 電解研磨 電解研磨 電解研磨
シール材 軸シール Oリング／NBR Oリング／FKM 溶接ベローズ 溶接ベローズ
ボンネットシール Oリング／NBR Oリング／FKM Oリング／FKM Oリング／FKM
弁体シール Oリング／NBR Oリング／FKM Oリング／FKM Oリング／FKM
　　　　 旧製品型式 現行機種
VULH-CM VLH-MB
外観 材質 SUS304 SUS304
外面表面処理 GBB バフ研磨
内面表面処理 電解研磨 電解研磨
シール材 軸シール 溶接ベローズ 溶接ベローズ
ボンネットシール メタルガスケット メタルガスケット
弁体シール Oリング／FKM Oリング／FKM

※上記に旧製品型式がない場合は、お手数ですが弊社営業担当者へお問い合わせください。

新旧バルブ 面間寸法の互換性

valve-table03.png

新旧シリンダ 圧空供給口径の互換性

valve-table01.png

真空アングルバルブ（L型バルブ）の構造と特徴
アルバックの真空アングルバルブ（L型バルブ）は、 SUS製に統一、現行のJISフランジ仕様に加え、ISOフランジを充実し、開閉は複動・単動シリンダに手動まで、接続フランジタイプは4種類、サイズは16A（5/8inch）～900A（36inch）までと幅広いニーズにお応えできるラインアップです。


※面間寸法、シリンダ圧空供給口径共に一部の機種で旧機種との互換性がありません。

angle-valve-types.png

駆動方法と使用圧力

カテゴリ シリーズ

VLP　真空アングルバルブ（複動式）

 VLP-SA　真空アングルバルブ(複動式/ステンレス/Oリングシール)
VLP-SB　真空アングルバルブ(複動式/ステンレス/ベローズシール)
VLP-MB　真空アングルバルブ（複動式/ステンレス/超高真空）
VLP-U　真空アングルバルブ（複動式/鉄/Oリングシール）

VLB　真空アングルバルブ(単動式)

 VLB-SA　真空アングルバルブ(単動式/ステンレス/Oリングシール)
VLB-SB　真空アングルバルブ(単動式/ステンレス/ベローズシール)
VLH　真空アングルバルブ(手動式 / ハンドル式) VLH-SB　真空アングルバルブ(手動式/ステンレス/ベローズシール)
VLH-MB　真空アングルバルブ（手動式/ステンレス/超高真空）

シリーズ 真空レベル*1 使用圧力範囲
[Pa(abs)]		 形状 駆動方式 ボディ材質 許容ベーキング温度
[℃]*2		 許容逆差圧
[MPa]
VLP-SA V 大気圧～10-5 アングル 複動 SUS304 150 0.1
VLP-SB HV 大気圧～10-6
VLP-MB UHV 大気圧～10-8 150(200)
VLP-U V 大気圧～10-5 SS400+
Niメッキ		 60 不可
VLB-SA 単動NC*3 SUS304 150 0.1
VLB-SB HV 大気圧～10-6
VLH-SB 手動
VLH-MB UHV 大気圧～10-8 150(200)

*1　真空レベルと構造の関係は、「シール構造の説明」を参照下さい。　
*2　駆動部は60℃以下、（　）内はバルブ"開"状態
*3　単動NC・・・ノーマルクローズ（圧空解放時に自動的にクローズ）

駆動方式：シリンダ構造

駆動方式は、 「複動シリンダ」「単動シリンダ」「手動」 ３タイプから選択でき、シリンダは全機種で許容逆差圧（0.10MPa）対応です。

arrow_cylinder

複動シリンダ：DA（double acting)

double-acting-cylinder.png

単動シリンダ：NC（normally closed)

single-acting-cylinder.png

シール構造

シール構造は、「Oリング式」「ベローズ式」から選択できます。

seal-structure.png

構造図 seal-structure-a1.png seal-structure-b1.png seal-structure-c1.png seal-structure-d1.png
真空レベル/
使用圧力		 V ≦10-5Pa V ≦10-5Pa V ≦10-5Pa V ≦10-5Pa
HV ≦10-6Pa HV ≦10-6Pa HV ≦10-6Pa HV ≦10-6Pa
UHV ≦10-8Pa UHV ≦10-8Pa UHV ≦10-8Pa UHV ≦10-8Pa
XHV ≦10-9Pa XHV ≦10-9Pa XHV ≦10-9Pa XHV ≦10-9Pa
シリーズ VLP-SA
VLB-SA
VLP-U		 VLP-SB
VLH-SB
VLB-SB		 VLP-MB
VLH-MB		 VUH
  • VL□-SAは、軸シール（シャフト部）にOリング（FKM）シールを採用し、長寿命です。
  • VLP-Uは、内部シール（シャフト部）にOリング（NBR）シールを採用し、異物混入にも強い構造です。
  • VL□-SBは、軸シール（シャフト部）にベローズシール式を採用し、放出ガスを低減させています。
  • VLP-MBは、外部シール（ボンネットフランジ部）にメタルシールを採用し、200℃のベーキング（バルブ開状態）が可能です。

接続フランジ

接続フランジは、「JIS-VF」「ISO-KF」「ISO-K」「ISO-CF」 4タイプから選択できます。 フランジ口径サイズは、16A～350AまではSUS製（Oリングはフッ素ゴム：FKM）、 500A以上の大型はSS製（Oリングはニトリルゴム：NBR）で統一です。

angle-valve-table01.png

*1　商品型式に入る数字は、◆「呼径：A(ISO)mm」、◇「呼径：A(JIS)mm」、●「呼径：B inch」です。 ◇「呼径：A(JIS)mm」は、JIS B2290 附属書（保守フランジ）の規格です。

■ISO-KFフランジ
KF...Klein Flansch（ドイツ語：小口径フランジ）
規格...ISO 2861(クイックリリースカップリング)
別名称...クイックカップリング・NWフランジ

ISO-KF.png

■ISO-Kフランジ
K...Klampe（ドイツ語：クランプ）
規格...ISO 1609 / JIS B2290
別名称...MFフランジ・LFフランジ
＊）クローを用いてISO-Fフランジへ変換可能

ISO-K.png

■JIS-VF／VGフランジ
規格...JIS B2290 附属書（保守用フランジ）
＊）JISフランジの溝のない方（VFフランジ）
JISフランジの溝のある方（VGフランジ）

JIS-VF-VG.png

■ISO-CFフランジ
CF...ConFlat
規格...ISO 3669-2(ナイフエッジフランジ）
別名称...ベーカブルフランジ・UFCフランジ・ICFフランジ

ISO-CF.png

開閉センサ（オプション）

w8h-tpc.png

対象バルブ VLP-SA/SB/MB
VLB-SA/SB		 VLP-U20/U22 VLP-U36
型式 W8H D-A54/BT-16(SMC) D-A54/BT-20(SMC)
開閉センサ原理 リードスイッチ（二線式，
有接点，ケーブル長1m)		 リードスイッチ（二線式，有接点，ケーブル長0.5m)
開閉センサ接点容量 DC24V/5～50mA
AC110V/5～20mA		 DC24V/5～50mA
AC100V/5～25mA
AC200V/5～12.5mA
バルブの開閉位置表示 リードスイッチLED表示
バルブへの取付 取付無し 取付有り

バルブ駆動用　推奨電磁弁

VLP-S.png

  • <*>旧VLP用電磁弁を新型バルブに使用する事は可能です。
  • 但し旧VLP-U6用、VLP-U14用、及びVLP-U14R用の電磁弁を新型バルブに流用の場合、動作時間が若干遅くなる可能性があります。

※新ラインアップでは電磁弁の取り扱いはしていませんので、お客様にてご用意願います。

該非判定結果報告書
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該非判定結果　真空バルブ（アルバックテクノ） 該非判定結果　真空バルブ（その他）

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オプションパーツ・消耗品

取扱説明書・仕様書
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アプリケーション
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図面ダウンロード

技術資料ダウンロード

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