用途事例・VOC

宇宙開発事業団筑波センターの人工衛星機器試験装置(6mφ放射計チャンバー:製作(株)日立製作所)の真空を作る、主排気に当社の世界最大級52型クライオポンプ(口径:1.5m)が採用され、4台のクライオポンプを製作し納入しました。

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52型クライオポンプ

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人工衛星機器試験装置

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資料提供:宇宙開発事業団、(株)日立製作所

52型クライオポンプの仕様
排気速度 N2: 61,000 L/s
H2: 84,000 L/s
H2O: 186,000 L/s
到達圧力 1×10-6Pa以下

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