●成膜コントローラオプション該非判定結果報告書

成膜コントローラオプションの該非判定結果報告書です。

対象製品:CTM-EL,CTM-EL(D),CTM,CTM(D),UCR-4MAG-01,UCR-5MAU-01,UCR-5MAG-01,UCR-4MAG-12,UCR-5MAU-12,UCR-5MAG-12,CR5G1,CR5S1,OSC-12B,OSC-12BG,OSC-12D,OSC-12DG,CRTM用補助ケーブル,CRTM-6000G･9000G･9100Ｇ･9200共用真空内部ケーブル,CRTM-6000G･9000G･9100Ｇ･9200共用外部ケーブル,CRTM-CTM用ケーブル