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自動タイプのサポート情報

高速分光エリプソメータ UNECSシリーズで測定できない膜は何ですか?

光を透過しない厚い金属膜や光を吸収してしまう吸収膜は測定が出来ません。 但し金属膜でも30nm以下の薄膜(光が透過するレベル)であれば測定可能な場合もあります。

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