ULVAC
ULVAC SHOWCASE
クライオポンプのサポート情報
ダウンロード
クライオポンプ CRYO-Uシリーズ ベーキングタイプの取扱説明書です。
ベーキングタイプのクライオポンプは、ポンプケースに巻かれたシースヒータで
ポンプ壁を150℃~250℃に加熱脱ガスすることにより、容易に10-8Pa 以下の
極高真空を得ることができます。
このサイトでは、お客様の利便性や利用状況の把握などのためにCookieを使用してアクセスデータを取得・利用しています。Cookieの使用に同意する場合は、「同意しました」をクリックしてください。「個人情報保護方針」「Cookie Policy」をご確認ください。