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ULVAC SHOWCASE
クライオポンプのサポート情報
よくある質問
クライオポンプとは真空中に極低温に冷却された面（10～15Kに冷却されたクライオパネルと80K程度に冷却された80Kバッフル、80Kシールド）を置き、 この面に衝突する気体分子（Ar、N2、H2、H2Oなど）を 凝縮又は吸着することにより排気します。
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