システム搭載用のサポートページです。

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取扱説明書・仕様書

• ●HELIOTMONO取扱説明書
• ●HELIOTMONO仕様書

図面（2D）

• ●HELIOT_MONO_2D図面(PDF)
• ●HELIOT_MONO_2D図面(DXF)
• ●HELIOT_MONO_AC-Adapter_2D図面(PDF)
• ●HELIOT_MONO_AC-Adapter_2D図面(DXF)
• ●HELIOT_MONO-J_F_VALVE-IOUNIT_2D図面(PDF)
• ●HELIOT_MONO-J_F_VALVE-IOUNIT_2D図面(DXF)
• ●HELIOT_MONO_ProgrammableDisplay_2D図面(PDF)
• ●HELIOT_MONO_ProgrammableDisplay_2D図面(DXF)
• ●HELIOT_MONO_VacuumGaugeSet_2D図面(PDF)
• ●HELIOT_MONO_VacuumGaugeSet_2D図面(DXF)

図面（3D）

• ●HELIOT_MONO_3D図面(STP)
• ●HELIOT_MONO_AC-Adapter_3D図面(STP)
• ●HELIOT_MONO_VALVE-IOUNIT_3D図面(STP)
• ●HELIOT_MONO_ProgrammableDisplay_3D図面(STP)
• ●HELIOT_MONO_VacuumGaugeSet_3D図面(STP)

該非判定結果報告書

• ●システム搭載用リークディテクタ該非判定結果報告書

SDS

その他

• ●HELIOT Monitor（モニター）ソフトウェア

トラブルシューティング

• ヘリウム漏れ試験方法を教えてください。
• 他の内容も確認がしたいです。

よくある質問

• なぜ校正が必要なのでしょうか？
• メンブレン型校正リーク(オプション)の保管時に、仕切りバルブの開閉はどのようにしておくべきでしょうか？
• 他の内容も確認がしたいです。