ULVAC
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スタンドアロンのサポート情報
トラブルシューティング
いいえ。正常動作です。ドライポンプの内部に残る水分を排出するガスバラスト処理を行っています。大きな音が3回繰り返しますので、HELIOT本体の主電源はその後にOFFにしてください。
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