ハイパフォーマンスプロセス(よくある質問1)|よくある質問|ハイパフォーマンスプロセスのサポート情報|ULVAC SHOWCASE

ハイパフォーマンスプロセスのサポート情報

ガス分析計で測定できる圧力帯はどれくらいですか?

スパッタリング装置対応機種は1Pa以下、それ以外の機種は1E-2Pa以下の圧力で使用可能です。差動排気系付きの機種であれば最大で大気圧での測定も可能となります。

この質問・回答は参考になりましたか?

サポート

このサイトでは、お客様の利便性や利用状況の把握などのためにCookieを使用してアクセスデータを取得・利用しています。Cookieの使用に同意する場合は、
「同意しました」をクリックしてください。「個人情報保護方針」「Cookie Policy」をご確認ください。

同意しました