スパッタリングプロセスガス分析計（プロセスガスモニタ）のサポートページです。

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取扱説明書・仕様書

• ●CGM2_クイックマニュアル

図面（2D）

• ●CGM2_2D図面(PDF)
• ●CGM2_2D図面(DXF)
• ●CGM2-QIP_2D図面(PDF)
• ●CGM2-QIP_2D図面(DXF)

図面（3D）

該非判定結果報告書

• ●ガス分析計（プロセスガスモニタ）スパッタリングプロセス 該非判定結果報告書

SDS

その他

トラブルシューティング

• 真空計で表示されている圧力とQCSで表示されている全圧の値に差異があります
• 通信エラーという表示になります。
• 他の内容も確認がしたいです。

よくある質問

• RGAの使用可能温度範囲はどれくらいですか？
• ガス分析計で測定できる圧力帯はどれくらいですか？
• 他の内容も確認がしたいです。