圧力が悪い・到達圧力が不安定・排気能力の低下があります。
（メインポンプがターボ分子ポンプの場合）

下記可能性があります。
①設置場所の雰囲気温度が高い。
　→空調を行い２５℃以下に雰囲気温度を下げてください。
②設置後または、長時間停止後の運転時間が短い
　→24～48時間運転し再度ご確認ください。
③リークの発生
　→・到達圧力に変化が生じるまえに処置した部品付近の調査をお願いします。
　　・ガラスチャンバー部、Ｏリングの清掃。または消耗部品の交換をお願いします。
④放出ガスの多い試料（基板）を使用している。　例：樹脂基板など
　→試料の材質を変更してください。　　また長めに排気時間を取ることをお試しください。⑤ターボ分子ポンプ、油回転真空ポンプ、真空計の不良　→各製品の取扱説明書をご参照ください