キャパシタンスマノメータ(よくある質問1)|よくある質問|キャパシタンスマノメータのサポート情報|ULVAC SHOWCASE

キャパシタンスマノメータのサポート情報

測定原理はどのようになっていますか?

隔膜式真空計の測定子内部は薄い隔膜があり、一方は測定したい空間につながり、一方はある一定の圧力(基準圧力)となっています。

基準圧力と測定したい空間に圧力差がある場合、圧力差によって隔壁がたわみます。このたわみ量から圧力を算出しています。

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サポート

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