ULVAC
ULVAC SHOWCASE
キャパシタンスマノメータのサポート情報
トラブルシューティング
①チャンバーの圧力が0点調整推奨圧力以下になっていますか？、他の真空計で確認下さい。②０点調整を実施した際にRUN LEDが点滅する場合は、汚れや腐食による故障が考えられます。CCMTを交換下さい。
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