ULVAC
ULVAC SHOWCASE
冷陰極電離真空計のサポート情報
トラブルシューティング
リレー接点の最小動作電流以下だと信号が出ません。リレーの最小動作電流は10mAです。
改善しない場合には出力リレーの故障の可能性がございます。その場合には修理が必要です。
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