測定原理はどのようになっていますか？

冷陰極電離真空計はコールドカソードゲージ、逆マグネトロン型真空計とも呼ばれます。

測定子内には陰極・陽極があり、陰極を取り囲むように磁石を配置します。陰極-陽極間に高電圧を印加し放電させます。プラズマ放電すると陰極から電子が放出され、空気に衝突して、空気がプラスの性質をもったイオンとマイナスの性質を持った電子に分かれます。

このマイナスの性質を持った電子の数（電流値）を数えて圧力とします。測定する圧力が高いとマイナスをの性質を持った電子が多く、測定する圧力が低いとまいなすの性質を持った電子は少なくなります。

逆マグネトロン型真空計以外に、陽極・陰極、磁石の配置が異なるペニング型真空計も冷陰極型電離真空計の仲間です。