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ULVAC SHOWCASE
熱陰極電離真空計のサポート情報
よくある質問
熱陰極電離真空計はホットカソードゲージとも呼ばれます。
熱陰極型真空計の測定子内部はフィラメント、グリッド、イオンコレクターで構成され、フィラメントを加熱すると、フィラメントから熱電子という電子がグリッドに向けて放出されます。放出された熱電子が空気に衝突すると、空気がイオン化してプラスの性質をもったイオンになります。
イオンコレクターでプラスの性質をもったイオンの数(電流値)を数えて圧力としています。
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