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ピラニ真空計のサポート情報

測定原理はどのようになっていますか?

ピラニ真空計は電気抵抗型の真空計です。測定したい場所に測定子を設置します。

測定子内にはフィラメントと呼ばれる髪の毛くらいの細さのプラチナ(Pt)線が張ってあります。コントローラーからフィラメントに電力を供給し、フィラメントを200℃程度まで加熱します。加熱したフィラメントに空気が衝突すると、空気がフィラメントの熱を奪いフィラメントの温度が下がります。フィラメントの温度が下がるとコントローラーがフィラメントの温度が200℃になる様に追加で電力を供給します。

国際宇宙ステーション(ISS)が飛行している高度の圧力の場合には空気が薄く、空気がフィラメントから熱を奪う量が少ない、つまり、コントローラーから追加で電力を供給する量は少ないのですが、大気圧よりちょっとだけ低い圧力の場合には、空気がフィラメントからたくさんの熱を奪います。つまり、コントローラーから追加で電力をたくさんの電力を供給します。この電力の少ない・多いを圧力に換算しています。

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