排気ユニットのサポートページです。

ダウンロード

取扱説明書・仕様書

• ●VMR-050取扱説明書
• ●MDA-015A取扱説明書

図面（2D）

• ●YMV-01A_PMB100D＋VD30C_2D図面（PDF)
• ●YMV-01A_PMB100D＋VD30C_2D図面（DXF)
• ●YMV-03A_PMB300D＋VD40C_2D図面（PDF)
• ●YMV-03A_PMB300D＋VD40C_2D図面（DXF)
• ●YMV-06A_PMB600D＋VD60C_2D図面（PDF)
• ●YMV-06A_PMB600D＋VD60C_2D図面（DXF)
• ●YMV-06A_PMB600D＋VD90C_2D図面（PDF)
• ●YMV-06A_PMB600D＋VD90C_2D図面（DXF)
• ●YMV-12A_PMB600D＋VS2401_2D図面（PDF)
• ●YMV-12A_PMB600D＋VS2401_2D図面（DXF)
• ●YMV-12A_PMB1200D＋VS2401_2D図面（PDF)
• ●YMV-12A_PMB1200D＋VS2401_2D図面（DXF)

図面（3D）

• ●YMV-03A_PMB300D+VD40C_3D図面（STP)
• ●YMV-06A_PMB600D+VD90C_3D図面（STP)
• ●YMV-12A_PMB600D+VS2401_3D図面（STP)
• ●YMV-12A_PMB1200D+VS2401_3D図面（STP)
• ●YMV-12A_VS2401+PRC012A_3D図面（STP)

該非判定結果報告書

• ●排気ユニット該非判定結果報告書
• ●架台ユニット該非判定結果報告書

SDS

その他

トラブルシューティング

よくある質問

• 真空ポンプの排気スピードはどうやって計るのですか？
• 真空ポンプは屋外で使用できますか？
• 他の内容も確認がしたいです。