リークディテクタの無償サンプリング|無償サンプリング|サポート|ULVAC SHOWCASE

ご相談いただける内容

リークディテクタでは様々な方法で漏れ検査を実施することができます。

真空吹付け法

内部を真空排気したWorkに、スプレーガンでヘリウムガスを吹き付ける手法です。
漏れ量の他、漏れ箇所の検査が可能です。(漏れの向き:Work外→内 Work内圧力:真空)

真空フード法

内部を真空排気したWorkをフードで覆い、フード内にヘリウムガスを導入する手法です。
漏れ箇所は検査できませんが、Work全体の漏れ量の検査が可能です。
(漏れの向き:Work外→内 Work内圧力:真空)

スニッファー法(吸込み法)

内部をヘリウムガスで加圧したWorkから漏れ出てくるヘリウムガスを、リークディテクタに取り付けたスニッファープローブで検知する手法です。
加圧検査では唯一、漏れ箇所の検査が可能な手法です。
(漏れの向き:Work内→外 Work内圧力:大気圧以上)

加圧積分法

内部をヘリウムガスで加圧したWorkを密閉容器に入れ、一定時間経過後の密閉容器内のヘリウムガス濃度上昇で漏れを検知する手法です。
密閉容器は一般に大気圧雰囲気で行います。条件によってはスニッファー法よりも検出感度を高くすることが可能です。
密閉容器内に貯め込み、温度指定で、経過時間などの条件があるWorkで行われています。
(漏れの向き:Work内→外 Work内圧力:大気圧以上)

ベルジャー法

内部にヘリウムガスを充填したWorkを真空チャンバー(ベルジャー漏れ箇所の検査はできませんが、Work全体の漏れ量の検査が可能)で測る手法です。漏れ箇所の検査はできませんが、Work全体の漏れ量の検査が可能です。

(漏れ検査の向き:Work内→外 Work内圧力:規定なし一般的には大気圧以上)

ボンビング法

開口部がなく、事前にヘリウムガスをWork内部に充填できないWorkの検査方法です。
加圧容器でWorkをヘリウムガスにより一定時間加圧し、不良箇所(穴)からWork内部にヘリウムガスを浸漬させた後で、ベルジャー法で検査を行います。
小型電子部品の検査に利用されます。
(漏れ検査の向き:Work内⇔外の双方で生じる漏れ)

軟素材の漏れ検査

圧力差に弱いWorkへのヘリウムリークテストの応用例とともにご相談を承っております。

水素リークテスト

水素(5%以下の希釈混合ガス)によるリークテストです。

その他リークテストに関する各種ご相談

  • 本社デモルームでの実機体験のご依頼
  • 評価用デモ機貸出しのご依頼
  • インハウスセミナー等のご依頼 等


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