ご相談いただける内容

お客様で成膜したサンプルの膜厚、表面形状や粗さ、パターン、応力などを測定致します。
導入前にアルバックの触針式プロファイラの測定精度をお客様のサンプルで事前にご確認いただけます。

膜厚

1mm以下の膜厚を測定致します。

パターン

サンプルのパターンや表面形状を測定致します。

応力測定

膜の応力を測定致します。※Bare基板が必要です。

粗さ・表面形状

膜の粗さ・表面形状を測定致します。


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