その他の製品の基礎知識
無料ダウンロード|蒸着装置トラブル原因切り分けガイド
蒸着装置の安定稼働をサポートする必携書！『蒸着基礎ガイド』のススメ
蒸着を用いた研究開発に日頃、携わっておいででしょうか？もしくは蒸着の導入にご興味はありますでしょうか？
蒸着装置は、数ある真空薄膜形成法の中でもポピュラーな手法として、研究開発から量産まで広く浸透しておりますが、装置が真空計や真空ポンプ等の集合体であることから、トラブルが生じた際に、どのような考え方に基づいて、どこに着目して解決方法を探せばよいのか、付属の取扱説明書を読んでも分からないというお問い合わせを多く頂きます。
アルバックはお客様に業務をより効率的に、正確に、そして快適に遂行して
いただきたい思いから、「蒸着」に対する基本知識を簡潔にまとめました。
『体系的に分かる！ 蒸着装置トラブル原因切り分けガイド』をダウンロードできるのは、こちらのページだけ。
このコンテンツに含まれるもの
- 前提知識｜真空の考え方
- トラブルの原因切り分け方法｜概要
- トラブルの原因切り分け方法｜p(真空計)が怪しい場合
- トラブルの原因切り分け方法｜S(真空ポンプ/配管)が怪しい場合
- トラブルの原因切り分け方法｜Q(装置のリーク/放出ガス)が怪しい場合
薄膜形成の基礎ガイドのダウンロードはこちら