VACUUM 2021 真空展に出展いたします
展示会
2021年11月24日
今年の「VACUUM 2021 真空展」は、リアル会場とオンライン会場のハイブリット展での開催です。
皆様にご愛顧いただいている真空関連製品に加え、新製品のご紹介もいいたしますので、是非ご来場くださいますようお願い申し上げます。
アルバックグループから、アルバック、アルバック機工、アルバック・クライオ、昭和真空が出展いたします。
アルバック・グループ一同、皆様のお越しを心よりお待ち申し上げております。
| ■リアル会場 【アルバックブース小間番号: V-25】 | ■オンライン会場 【Go to VACUUM 2021online】 |
| 会 期：2021年12月1日（水）〜12月3日（金）10:00〜17:00 会 場：東京ビッグサイト 西ホール 入場料：1,000円（入場登録者、招待状持参者、中学生以下は無料） |
会 期：2021年11月24日（水）〜12月10日（金） 会 場：オンライン上 入場料：無料（登録制） |
VACUUM 2021真空展の入場登録はこちら
VACUUM 2021 真空展 リアル展示およびオンライン展示の入場には事前登録が必要です。
主催者専用サイトへアクセスいただき、事前登録下さますようお願い申し上げます。
https://autumnfair.nikkan.co.jp/account/form
出展製品のご案内 ★オンライン展示 ◆リアル展示
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| スクリュー型ドライ真空ポンプ | LSシリーズ LS-120A ★◆ |
| スクリュー型ドライ真空ポンプ | MS-120A ≪新製品≫ ◆ |
| 空冷ルーツ型ドライ真空ポンプ | CRシリーズ CR-30B ★◆ |
| ターボ分子ポンプ | Desktop YTP ★ |
| スパッタイオンポンプ | PST シリーズ ★ |
| スパッタイオンポンプPST シリーズ用 コントローラ |
GST-07L-B ★ |
| 油回転真空ポンプ | VDシリーズ ★ |
| ターボ分子ポンプ | UTM-MI ★ |
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| ダイアフラム型ドライ真空ポンプ | DAU-20DC ≪新製品≫ ★◆ 説明員に聞く！製品説明 |
| ピストン型コンプレッサー | DOP-81SP ≪新製品≫ ◆ |
| 油回転真空ポンプ | GHD-031A ★◆ |
| 油回転真空ポンプ | GHD-101 ★ |
| 真空デシケーター | VDE-3 ◆ |
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| リークディデクタ | HELIOT904W2 ★◆ 説明員に聞く！製品説明 |
| リークディデクタ | HELIOT901W1 ★◆ 説明員に聞く！製品説明 |
| リークディテクタの無償サンプリング | リークテスト ★ |
| リークディデクタ | SR(Service & Rental) パッケージ HELIOT901W1 ≪新製品≫ |
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| 差動排気系付四重極型質量分析計 | Qulee with YTP-H BGM2-202 ★◆ |
| ガス分析計（プロセスガスモニタ） | Qulee CGM2-051 ★◆ 説明員に聞く！製品説明 |
| ガス分析計（プロセスガスモニタ） | Qulee BGM2-202 ★◆ 説明員に聞く！製品説明 |
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| マルチイオンゲージ（長寿命仕様） | G-TRAN ST200 ≪新製品≫★◆ |
| マルチイオンゲージ（超高真空仕様） | G-TRAN SH200 ≪新製品≫★◆ |
| スマホ対応ピラニ真空計 | SWU10-U ★◆ |
| ピラニ真空計検出ユニット （マルチイオンゲージ用オプションユニット） |
SWU10-R ★◆ |
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| 触針式プロファイラ | Alpha step D-600 ★◆ 説明員に聞く！製品説明 |
| 分光エリプソメータ | UNECS Portable ★◆ 説明員に聞く！製品説明 |
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| 水晶発振式成膜コントローラ | CRTM-9200 ★◆ |
| 水晶板 | UCRシリーズ ★◆ |
| 水晶発振式成膜コントローラマルチセンサ | CRTS-12NS ★◆ |
| 水晶発振式成膜コントローラマルチセンサ | CRTS-M6 ★◆ |
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| DC電源 | 新型DC電源 ≪新製品≫ ◆ |
| 大容量DC電源 | DC-20 ◆ |
| 大容量DC電源 | DC-20-AM ★ |
| 小容量DC電源 | DC-2 ★◆ |
| 小容量DC電源 | DC-4 ◆ |
| DC PULSE電源 | DC-5-P ★◆ |
| 異常放電防止ユニット | A2K-40K ★◆ |
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| プラズマプロセス用RF電源 | RFS-1305N ◆ |
| プラズマプロセス用RF電源 | RFS-1350N ◆ |
| プラズマプロセス用RF電源 | RFS-1310N ★ |
| RF電源操作パネル | RFP-N ◆ |
| RF電源フェーズシフター | PHS-04N ★◆ |
| マッチングボックス切換機 | MEX-2N ★◆ |
| ターゲット切替器 | EXN★◆ |
| 300W 一体型RFシステム | RMG-1303 ★◆ |
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| 金属蒸着用EBガン | EGN-406M ◆ |
| 金属蒸着用EBガン | EGC-10GS ◆ |
| EB電源 | HPS-1000N ◆ |
アルバック・クライオは、株式会社アルバックの薄膜製造装置に搭載されることを中心に、また日本の科学技術分野へ貢献をすることで発展をして参りました。こちらには一例として水素の排気速度に重点をおいたクライオソープションポンプや52インチのクライオポンプの例を挙げさせていただいています。
| クライオポンプ | CRYO-U8H ★◆ |
| 低温機器 | 極低温冷凍機 ◆ |
| 低温機器 | 液体窒素ジェネレーター ★◆ |
| 大型クライオソープションポンプ |
昭和真空は、真空技術を応用した装置の製造、販売をしております。弊社が扱う装置の大半は御客様の個別のご要望に応じたカスタムメイドの真空装置です。その為、さまざまな分野の多様なニーズお応えします。
| COAT LEADERⅡ | Sapio-Ⅱ ★◆ |
| 高速スパッタ・重合システム | SPC-155CT ◆ |
| ウエハトリミング装置 | SST-M01T ★◆ |
| カルーセル型高速スパッタ重合装置 | SPP-155TC ★◆ |
説明員に聞く！製品説明
真空展2021 リアル会場にて実機展示しました一部の製品について説明員が製品紹介しておりますので、ご覧ください。
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| ダイアフラム型ドライ真空ポンプ ≪新製品≫DAU-20DC |
ヘリウムリークディテクタ HELIOT900 |
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| ガス分析計（プロセスガスモニタ） Qulee |
触針式プロファイラ Alpha step D-600 分光エリプソメータ UNECS Portable |
※VACUUM 2021 真空展の入場登録はこちらから ⇒ https://biz.nikkan.co.jp/eve/vacuum/