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成膜プロセスに携わる方必見！RF電源の基礎

真空装置には様々なコンポーネントが使用されます。真空装置で生産するものによっても必要なコンポーネントも変わってきます。成膜プロセスを行う装置においては、膜をつけたり削ったりするために最適な成膜用の電源が必要になります。今回はその中でも様々なプロセス、スパッタリング装置やCVD装置、プラズマエッチング装置やニュートラライザー等で使用されているRF電源について解説いたします。

RF電源の役割や最適な電源とは何かを知ることができる基礎講座です。また使用する上でのポイントもご理解いただけよう解説いたします。
内容としては以下を含んだ資料で説明を予定しております。

• RF電源とは？
• RFの特徴
• 良いRF電源とは？
• RF電源を使用する上での注意点

など『RF電源』を使用いただく上で必要な知識を中心に解説いたします。

ご参加いただくメリット

本講座では、成膜プロセスに関わる方はもちろん『RF電源』ついて基礎から学びたい方にも本講座をオススメいたします。
初心者の方にも分かりやすい内容ですので、御社の社員研修や社内教育にご活用ください。
オンラインですので、ご自宅からでもご参加いただける無料のセミナーです。

『RF電源の基礎講座』概要

(*1) 当日の進行によって、お時間が若干前後する場合がございますので、ご了承ください。
(*2) Zoomを使用いたしますので、あらかじめインストールをお願いいたします。Zoomに関するご質問にはご回答いたしかねます。ご了承ください。
(*3) 次のいずれかに該当すると弊社が判断した場合、ご参加をお断りしております。理由についてはご回答いたしかねますので、あらかじめご了承ください。
(a)一部の弊社製品と競合する製品をお取り扱いの企業にお勤めの方
(b)フリーメールをご使用の方
(c)反社会勢力であると判明した場合
(d)申し込み時に登録頂いた情報が不完全、または当社で確認が出来ない場合
(e)その他、ほかのお客様に迷惑を及ぼし、又は円滑な実施を妨げるおそれがある場合
(*4) 定員に達した時点で、ご応募を終了させていただきます。

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