真空計 セレクションガイド
圧力測定(真空計測)は研究開発、生産技術、品質管理、製造プロセスに必須の基本技術です。
広い分野に応じられる信頼性の高い真空計、真空計測器はULVACの自信作です。
基本的なピラニ真空計から超高真空計測等の多種多様な使用目的・用途・アプリケーションにも豊富なバリエーションの中からからお選び頂けます。
省スペース・低コストのトランスデューサ型真空計もご好評です。 真空計JCSS校正サービス アルバック製の真空計はもちろん、お客様が現在お持ちの真空計のJCSS校正を行います。
圧力単位(Pa)
ピラニ真空計:汎用型(GPシリーズ)
気体の熱伝導を利用した定温度型ピラニ真空計です。手軽に低真空領域の圧力が測定できる用途の広い真空計です。各種インターロックや排気シーケンスのコントロールに利用できます。
ピラニ真空計:トランデューサ型(G-TRANシリーズ)
アルバックの真空計G-TRANシリーズは、各種装置におけるプロセス制御の集中化ならびに小型化むけて、(1)装置のコストダウン、(2)省スペース 化、(3)省配線化をコンセプトに開発された真空計です。
センサユニットと、ディスプレイユニットの基本ユニットで構成され、用途に合わせて組み合わせが 可能です。
※ディスプレイはオプションです。(表示器:ISG1)
電離真空計:汎用型(GIシリーズ)
電離真空計:トランデューサ型(G-TRANシリーズ)
アルバックの真空計G-TRANシリーズは、各種装置におけるプロセス制御の集中化ならびに小型化むけて、(1)装置のコストダウン、(2)省スペース 化、(3)省配線化をコンセプトに開発された真空計です。
センサユニットと、ディスプレイユニットの基本ユニットで構成され、用途に合わせて組み合わせが 可能です。
※ディスプレイはオプションです。(表示器:ISG1)
キャパシタンスマノメータ(隔膜真空計):トランスデューサ型(G-TRANシリーズ)
アルバックの真空計G-TRANシリーズは、各種装置におけるプロセス制御の集中化ならびに小型化むけて、(1)装置のコストダウン、(2)省スペース 化、(3)省配線化をコンセプトに開発された真空計です。
センサユニットと、ディスプレイユニットの基本ユニットで構成され、用途に合わせて組み合わせが 可能です。
※ディスプレイはオプションです。(表示器:ISG1)