真空角阀(L形阀)|真空阀门的基础知识|技术知识|ULVAC SHOWCASE

真空阀门的基础知识

爱发科真空角阀(L型阀)统一为SUS制,除了当前的JIS法兰规格外,还有ISO法兰,开关方式有复动,单动气缸,手动,连接法兰4种。尺寸可满足从16A(5/8inch)到900A(36inch)的广泛需求。






※面间尺寸、气缸压空供给口径,部分机型与旧机型不兼容。

valveselection(cn).png

驱动方法和使用圧力

种类 系列

VLP 真空角阀(复动式)

VLP-SA 真空角阀 (复动式/不锈钢/ O-ring密封)
VLP-SB 真空角阀 (复动式/不锈钢/ 波纹管密封)
VLP-MB 真空角阀 (复动式/不锈钢/ 超高真空)
VLP-U 真空角阀 (复动式/铁/O-ring密封)

VLB 真空角阀 (单动式)

LB-SA 真空角阀 (单动式/不锈钢/ O-ring密封)
VLB-SB 真空角阀 (单动式/不锈钢/ 波纹管密封)
VLH 真空角阀 (手动式)
VLH-MB 真空角阀 (手动式/不锈钢/ 超高真空)

系列 真空度*1 使用圧力范围
[Pa] (torr)
形状 驱动方式 本体材质 容许烘烤温度
[℃]*2
容许逆压差
[MPa]
VLP-SA V 大气压~10-5 角形 复动 SUS304 150 0.1
VLP-SB HV 大气压~10-6
VLP-MB UHV 大气压~10-8 150(200)
VLP-U V 大气压~10-5 SS400+Ni电镀 60 不可
VLB-SA 单动NC*3 SUS304 150 0.1
VLB-SB HV 大气压~10-6
VLH-SB 手动
VLH-MB UHV 大气压~10-8 150(200)

*1 有关真空度与结构之间的关系,请参阅 "密封结构的说明"
*2 驱动单元为60°C以下,()表示阀门打开状态
*3 单动NC・・・常闭(释放压空时自动关闭)

驱动方式:密封结构

驱动方式有「复动气缸」「单动气缸」「手动」 3种可选,气缸所有机型都可对应允许逆差压(0.10 MPa)。

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复动气缸:DA(double acting)

double-acting-cylinder.png

单动气缸:NC(normally closed)

single-acting-cylinder.png

密封结构

密封结构可选「O-ring式」「波纹管式」。

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构造图 seal-structure-a1.png seal-structure-b1.png seal-structure-c1.png seal-structure-d1.png
真空度/使用圧力 V ≦10-5Pa V ≦10-5Pa V ≦10-5Pa V ≦10-5Pa
HV ≦10-6Pa HV ≦10-6Pa HV ≦10-6Pa HV ≦10-6Pa
UHV ≦10-8Pa UHV ≦10-8Pa UHV ≦10-8Pa UHV ≦10-8Pa
XHV ≦10-9Pa XHV ≦10-9Pa XHV ≦10-9Pa XHV ≦10-9Pa
系列 VLP-SA
VLB-SA
VLP-U
VLP-SB
VLH-SB
VLB-SB
VLP-MB
VLH-MB
VUH
  • VL□-SA,轴密封(轴部)采用O-ring(FKM)密封,寿命长。 
  • VLP-U,内部密封(轴部)采用O-ring(NBR)密封、抗污染强。
  • VL□-SB,轴密封(轴部)采用波纹管密封、减少了气体放出。
  • VLP-MB,外部密封(阀盖法兰)采用金属密封,可以在200°C(阀门打开状态)下烘烤。

连接法兰

连接法兰有「JIS-VF」「ISO-KF」「ISO-K」「ISO-CF」4种类型选择。法兰口径16A~350A为SUS制(O-ring为含氟橡胶:FKM)、 大型500A以上的为SS制(O-ring为丁腈橡胶:NBR)。

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*1 商品型号中的数字为◆「直径:A(ISO)mm」、◇「直径:A(JIS)mm」、●「直径:B inch」。
◇「直径:A(JIS)mm」为JIS B2290附件(维护法兰)的规格。

■ISO-KF法兰
KF...Klein Flansch(德语:小口径法兰)
标准...ISO 2861(快卸法兰)
別称...快卸法兰・NW法兰

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■ISO-K法兰
K...Klampe(德语:Clamp)
标准...ISO 1609 / JIS B2290
別称...MF法兰・LF法兰
*)可以使用法兰爪转换为ISO-F法兰

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■JIS-VF/VG法兰
标准...JIS B2290 附件(维护用法兰)
*)JIS法兰无槽(VF法兰)
JIS法兰有槽(VG法兰)

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■ISO-CF法兰
CF...ConFlat Flang
标准...ISO 3669-2(刀边法兰)
別称...烘烤法兰・UFC法兰・ICF法兰

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开闭传感器(可选)

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对象阀门 VLP-SA/SB/MB
VLB-SA/SB
VLP-U20/U22 VLP-U36
型号 W8H D-A54/BT-16(SMC) D-A54/BT-20(SMC)
开闭传感器原理 簧片开关
(二线式,有接点,电缆长度1m)
簧片开关
(二线式,有接点,电缆长度0.5m)
开闭传感器接点容量 DC24V/5~50mA
AC110V/5~20mA
DC24V/5~50mA
AC100V/5~25mA
AC200V/5~12.5mA
阀门开闭的位置显示 簧片开关LED显示
阀门的安装 无安装 有安装

阀门驱动用 推荐电磁阀

Howto_VLP4(cn).png

  • <*>可以将旧的VLP电磁阀用于新型阀门上。
  • 但是,如果将旧的VLP-U6,VLP-U14和VLP-U14R的电磁阀转移到新阀上,则运作时间可能会稍微延迟。

※新产品线中没有电磁阀,请客户自行准备。

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