真空计的基础知识

爱发科改善了测定子本身的稳定性,开发了一种电离真空计,可满足对精确,稳定真空计的需求。
与B-A电离真空计和冷阴极电离真空计相比,即使在恶劣环境下也能减少更换测定子的频率。

最近的真空设备内部的环境

  • OLED、触摸屏等用的ITO膜、从丙烯酸基板释放出的气体
  • 真空腔室加工过程中切削油和清洁液残留物中释放出的气体
  • 真空腔室中的配线,电机释放出的气体

img-yajirushi-down-03.png

由于有机物等粘附在测定子内部的电极上,电子和离子的流动受到损害,因此压力指示变得异常。

B-A型、冷阴极型电离真空计

油暴露测试摘要和问题

【B-A型电离真空计 油暴露测试】      【冷阴极型电离真空计 油暴露测试】

Howto_ST2_2(cn).png

类型 B-A型电离真空计 冷阴极型电离真空计
污染测试结果 ・1日内灵敏度降低 ・大约25天后突然发生大变化
 不断波动
・灵敏度变化大
原因 ・由于离子收集器的污染
・离子收集效率降低
・附着物引起的异常放电
・由于传感器内部的污染而放电减少
要求事項 ・改善的耐污染性
・保持±15%的精度
・小型的金属本体
・改善的耐污染性
・精度误差较大,
 将精度提高到与热阴极相同的水平

产品的介绍

开发并商业化了在高真空下具有较好的测量精度(灵敏度变化,误差等),及较长的寿命的三极管型电离真空计。
可以大大降低运行成本并提高产量。

Howto_ST2_3(cn).png

1. 三极管型结构的优越性

灵敏度稳定,精度好

  • 通过更换真空计减少停机时间和运行成本
  • 精确的压力控制
  • 掌握设备异常

感度低下的原因

Howto_ST2_4(cn).png

B-A型电离真空计 VS 三极管型电离真空计

B-A型 三极管型
灵敏度(1/Pa) 0.06 0.07
离子收集面积(mm2) 0.15 2800

由于灵敏度几乎相同,因此假设两者1×10-3Pa的离子电流值为1×10-7A,则离子收集器单位面积的离子电流值如下。

B-A型 三极管型
单位面积的离子电流值(A/mm2) 6.7×10-7 3.6×10-11

单位面积的离子电流值大意味着与离子收集器碰撞的电离气体分子的数量大。
B-A型受软X射线的影响较小,并且具有较高的离子收集效率,因此即使在低压下也可以测量,
但是由于离子收集效率高,有机物的沉积量要比三极管型大。

ST2的油暴露测试

 

       img-tough.png              Stability
【油扩散泵改造过的设备测试】      【刚开始和使用后的灵敏度变化率】

Howto_ST2_5(cn).png

类型 复合电离真空计ST2 B-A型电离真空计 冷阴极电离真空计
压力指示稳定性 30日以上正常 压力指示在1天内下降 突然大的波动
在25天内波动
灵敏度稳定性 30日以上无变化 灵敏度在1天内下降 50%以上的变动

img-yajirushi-down-01.png

  • 减少设备停机时间和运行成本
  • 始终精确的压力控制
  • 掌握设备异常

2. Ir/Y2O3灯丝 triode

使用寿命长,更换真空计可减少停机时间和运行成本。

3. 小型金属管球 triode

无需担心安装空间或测定子损坏。

  • 与传统的玻璃管型相比,其内部容积约为1/7,长度约为1/3,因此可以减小安装空间。
  • 与传统玻璃管相比,无需担心破损

4. 复合电离真空计型传感器单元

img-g-tran-ST2-04

通过连接皮拉尼真空计单元可以减少控制信号。

  • 通过连接可选的皮拉尼真空计单元SPU可以自动控制灯丝
  • 从皮拉尼真空计到电离真空计的指示值可以作为单个信号输出
  • 常规的ISG1可以按原样使用

HOW TO

This website use cookies to obtain and use access data to understand the convenience and usage of customers. If you agree to use cookies, click "I Accept".
[Privacy Plicy] [Cookie Policy]

I Accept