工艺气体分析仪 Qulee CGM2-101/102|Notice|新闻中心|ULVAC SHOWCASE

Notice

2022年09月07号

新品发布

工艺气体分析仪 Qulee CGM2-101 / 102

Qulee CGM2-101_102new.png

特点

用于溅射设备的Qulee CGM2系列推出了可测量原子质量为1~100 amu的新型号Qulee CGM2-101/102。除了监测Air泄漏和残留水分外,还可以监测制冷剂泄漏、润滑脂、碳氢化合物和清洗液残留物等。随着产品阵容的壮大,客户可以根据需求有更多的选择。

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