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异常放电防止单元

A2K 系列

A2KH-25

アルバック

A2K系列是在反应性溅射工艺中,在DC电源输出上脉冲施加正电压,中和靶材上的积蓄电荷来防止异常放电的附加单元。
能在原来的电源上简单的追加,低成本实现产量和良率提高。

特点

  • 高产量
    通过减少异常放电可以输入更高功率
  • 基板损伤减少
    能够减少电弧引起的基板损
  • 控制基板的问题
    与RF溅射相比,可以降低基板温度
  • 简单的连接性
    可以连接到现有设备
  • 可变的反向脉冲频率
    A2KH-25:1kHz ~ 20kHz、A2K-20K/40K:1kHz ~ 50kHz范围内可使用
  • 脉冲同步系统
    可以输出多个A2K单元的同步脉冲 *2 *3
  • 主从连接可实现大容量
    A2K-20K、40K最多可以6台并联运行

应用:脉冲同步系统

a2kdata.jpg

当同一个腔室内阴极互相靠近相对,或者,当多个A2K放电彼此干扰时。通过使用相位控制功能,可以使A2K的反向脉冲同相并防止放电干扰。*3 *4

*1:可以与弊社DC电源连接
*2:使用A2KH-25,A2K-20K,40K不能执行脉冲同步和并行操作。
*3:A2KH-25需要外部同步单元(PHSM / PHSS)
*4:A2K-20K / 40K需要光同步电缆(Pulse link cable)

用途

  • FPD用反应溅射设备
  • 工业涂层用反应溅射设备
  • 彩色TFT用反应溅射设备

规格

Model A2KH-25 A2K-20K A2K-40K
Control power input Input AC90 to 110V AC100 to 240V
Frequency Single phase 50/60Hz
Power 100VA 400VA
Leak current 1mA or less
Input specification Operating voltage -100 to -800V
Operating current 0 to 25A 0 to 50A 0 to 100A
Input structure Connector connection Connector connection
Output specification Pulse range 5μs/10μs ( Internal switch switching ) 1 to 18μs (There is a frequency limitation)
Oscillating frequency ・Pulse range 5μs:
 2,5,10,15,20kHz
・Pulse range 10μs:
 1,2.5,5,7.5,10kHz
1 to 50KHz
Variable in 1KHz increments
Inversion pulse voltage 10 to 20% of the DC power generator output voltages. ( It depends on a load impedance )
Withstand voltage Continuous operation -1500Vdc
Parallel operation Nothing Up to 6units can be controlled *5
Cooling method Forced air-cooling
Dimension(W×D×H) 238×450×149mm 483×630×177mm
Weight 16kg 30kg 45kg
Applicable standard RoHs

Ambient operating temperature 5℃ to 40℃ (no condensation)
Operating environment: Avoid direct sunlight, heat, dust, vibration, and without corrosive gas.
*5: A2K-20K and A2K-40K cannot be used together.

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可选部件・消耗品

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