适用于从简单的成膜监测到膜厚控制的广泛应用
水晶式成膜控制器 Model:CRTM-6000G
ULVAC
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CRTM-6000G水晶振荡式成膜控制器，具有优异的膜厚及成膜速度分辨能力。
尺寸紧凑，可以对应低速率控制和最多99层的多层膜连续蒸发控制。
尺寸紧凑，可以对应低速率控制和最多99层的多层膜连续蒸发控制。
特点
- 优异的膜厚和成膜速率分辨率，在成膜速率低时也可以进行控制
- 125 ms的快速采样率可以很好地控制
- 可实现多层膜厚控制，最多可达99层
- 标准配有RS232C通信
- 最多可连接2个单传感器（可切换）
- 配备可编程数字输入/输出（各12ch）和模拟输出（3ch）
用途
- 蒸发时的膜厚及速率控制
规格
| Film thickness/rate resolution | 0.041 A (5 MHz) 0.029 A (6 MHz) |
| Film thickness display range / display resolution/td> | 0.000～99.99 μm(0.000～999.9 kÅ) |
| Deposition rate display range / display resolution | 0.01～99.99 nm/s(0.1～999.9 Å/s) |
| Supported sensor frequency | 5MHz, 6MHz |
| Number of sensors that can be attached | Single sensor:：2(The simultaneous measurement cannot be done. It is a switch type. ) Multi sensor：1 |
| Sampling rate | 125ms |
| Number of multilayer film layers supported | 99 layers |
| Number of deposition programs | 99 |
| Digital I/O | Input : 12channels programmable Output : 12channels programmable |
| Analog outputs | 3ch programmable |
| External dimensions W×D×H | 240mm x 350mm x 99mm |
