水晶振荡式成膜控制器
ULVAC的水晶振荡式成膜控制器，是基于ULVAC作为设备制造商的丰富的技术和经验开发的。从单层膜到多层膜，可以对应各种成膜工艺。
种类
- 选择产品系列
- 选择条件
- 水晶式成膜控制器
- 单传感器
- 多传感器
- 水晶振动子
- 选型
同时测量/控制
装载水晶数
烘烤温度(℃)
耐热温度(℃)
ULVAC的水晶振荡式成膜控制器，是基于ULVAC作为设备制造商的丰富的技术和经验开发的。从单层膜到多层膜，可以对应各种成膜工艺。
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