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关于水晶振荡式成膜控制器的介绍、购买、商讨
晶体薄膜沉积控制器是薄膜制造过程中高精度实时测量和控制薄膜厚度和速率的设备。晶体振荡器用于检测成膜过程中的质量变化并计算准确的膜厚度。这将提高有机器件、半导体和光学器件等需要精确膜厚的领域的质量和生产效率。
泵的种类
水晶式成膜控制器
晶体薄膜沉积控制器CRTM系列是基于丰富的经验开发的产品。特别是CRTM-R1系列采用独特的“阻抗法”来提高膜厚测量性能。这使得成膜过程更加稳定并提供高质量的成膜。对于有机工艺，如果使用专用机CRTM-R1-EL，则可以实现长期稳定的成膜。
水晶式成膜控制器
CRTM-R1
荣获2022年度日本真空工业协会"真空元件/零件/材料奖"
CRTM-R1是基于ULVAC多年培育的技术开发的水晶式成膜控制器。通过采用新的测量方法，我们实现了速率稳定性和比以前的型号更高的分辨率。它可用于从金属薄膜到光学薄膜的各种气相沉积工艺。
水晶式成膜控制器
CRTM-R1-EL
荣获2022年度日本真空工业协会"真空元件/零件/材料奖"
CRTM-R1-EL 是一款水晶式成膜控制器，针对有机 EL 沉积工艺和钙钛矿太阳能电池沉积工艺进行了优化。
采用了一种新的测量方法来实现高分辨率并显着提高速率稳定性。
单传感器
用于晶体薄膜沉积控制器的 CRTS 系列单传感器采用最大限度提高晶体板冷却效率的设计。此外，该结构使得晶体板无需使用工具即可轻松更换，大大减少了维护时间。这提高了薄膜沉积过程的效率和可靠性并支持稳定的运行。
多传感器
CRTS系列晶体薄膜沉积控制器多传感器可配备多个晶体板，大大减少维护时间。采用高可靠性真空步进电机来切换晶体板，实现高精度切换。有机气相沉积和光学气相沉积采用多传感器，可在连续成膜过程中自动切换。这提高了薄膜沉积工艺的效率和精度并支持稳定生产。
水晶振动子
UCR 系列晶体板非常适合精确的膜厚测量，因为它们最大限度地减少了蒸发源等热源的影响，并且个体差异很小。对于有机材料，我们使用采用我们自己的专利技术制造的4MHz晶体板，以支持低速率控制。这使得精确的成膜过程成为可能，并有助于提高质量。
选型
CRTM-R1系列晶体薄膜沉积控制器的测量CTM，通过电缆连接PC和CRTM-R1系列可以轻松设置和测量的CRTM Manager，以及用于振荡CRTM-6000G的晶体谐振器。振荡器。
选型
CTM-EL-D，CTM 外部电缆（仅可使用CRTM-R1-EL）
水晶式成膜控制器用CRTM-R1专用的产品。 （不能与其他型号一起使用）
可以连接两个CRTS传感器并自动切换以继续测量。 （无法同时用两根电缆测量）
除了 CTM-D 主机外，还有两根用于连接 CRTS 传感器的 CTM 辅助电缆（0.5 m）和一根用于连接 CRTM-R1 的 CTM 外部电缆。（耐移动型：从4m/8m/12m/16m/20m中选择）。
选型
CTM-EL，CTM 外部电缆（仅可使用CRTM-R1-EL）
水晶式成膜控制器用CRTM-R1专用的产品。 （不能与其他型号一起使用）
连接到 CRTS 传感器并执行测量。
除了CTM主机外，还包括一根用于连接CRTS传感器的CTM辅助电缆（0.5m）和一根用于连接CRTM-R1的CTM外部电缆（耐移动型：从4m/8m/12m/16m/20m中选择）。
选型
CTM-D，CTM 外部电缆（仅可使用CRTM-R1）
水晶式成膜控制器用CRTM-R1专用的产品。 （不能与其他型号一起使用）
可以连接两个CRTS传感器并自动切换以继续测量。 （无法同时用两根电缆测量）
除了 CTM-D 主机外，还有两根用于连接 CRTS 传感器的 CTM 辅助电缆（0.5 m）和一根用于连接 CRTM-R1 的 CTM 外部电缆。（从4m/8m/12m/16m/20m中选择）。
选型
CTM，CTM 外部电缆（仅可使用CRTM-R1）
水晶式成膜控制器用CRTM-R1专用的产品。 （不能与其他型号一起使用）
连接到 CRTS 传感器并执行测量。
除了CTM主机外，还包括一根用于连接CRTS传感器的CTM辅助电缆（0.5m）和一根用于连接CRTM-R1的CTM外部电缆（从4m/8m/12m/16m/20m中选择）。
选型
CRTM Manager
水晶式成膜控制器用（CRTM-R1/CRTM-R1-EL）专用的测量软件。
通过在PC上安装软件并使用电缆将其连接到CRTM主体，您可以在PC上检查测量数据。
还可以将 PC 上创建的设置传输至主机。
选型
OSC-12DG
这是连接CRTM系列晶体振荡薄膜沉积控制器的振荡器和电缆。 ※不能与 CRTM-R1 系列一起使用。
包括振荡器（OSC-12DG）、辅助电缆、外部电缆和振荡器控制电缆。