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多传感器 Model:CRTS-12NS

ULVAC

关于Model:CRTS-12NS的介绍、购买、商讨

CRTS-12NS是为水晶振荡式成膜控制器"Model:CRTM"开发的回转式多传感器。
可以搭载5MHz水晶振荡片12枚、长时间连续蒸发也可放心使用。

特点

  • 可搭载12枚AT切割的5MHz水晶振动子
  • 使用了真空电机的独特驱动方式实现了高可靠性
  • 水晶震动子的更换非常方便
  • 当检测到水晶振动子振荡异常时,可以自动进行水晶振动子切换(当“Model:CRTM用作控制器时)

用途

  • 光学、光通信部品的蒸发
  • 有机物的蒸发
  • 电子部品,其他蒸发

规格

Sensor head
Equipped crystal number 12 pieces
Capacity of crystal 4MHz,5MHz AT cut crystal
Heat resistance temperature 350℃
Cooling water volume 1L / min
Weight 2kg
Dimension Φ104mm x H Approx. 61mm

Controller
Digital input INIT, CNT, STOP
Digital output Sensor No., BUSY, ERROR, RETRY, END
Utility DC24V, 3.0A
Dimension W×D×H 100mm x 250mm x 99mm

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