多传感器 Model:CRTS-12NS
ULVAC

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关于Model:CRTS-12NS的介绍、购买、商讨
CRTS-12NS是为水晶振荡式成膜控制器"Model:CRTM"开发的回转式多传感器。
可以搭载5MHz水晶振荡片12枚、长时间连续蒸发也可放心使用。
可以搭载5MHz水晶振荡片12枚、长时间连续蒸发也可放心使用。
特点
- 可搭载12枚AT切割的5MHz水晶振动子
- 使用了真空电机的独特驱动方式实现了高可靠性
- 水晶震动子的更换非常方便
- 当检测到水晶振动子振荡异常时,可以自动进行水晶振动子切换(当“Model:CRTM”用作控制器时)
用途
- 光学、光通信部品的蒸发
- 有机物的蒸发
- 电子部品,其他蒸发
规格
Sensor head | |
Equipped crystal number | 12 pieces |
Capacity of crystal | 4MHz,5MHz AT cut crystal |
Heat resistance temperature | 350℃ |
Cooling water volume | 1L / min |
Weight | 2kg |
Dimension | Φ104mm x H Approx. 61mm |
Controller | |
Digital input | INIT, CNT, STOP |
Digital output | Sensor No., BUSY, ERROR, RETRY, END |
Utility | DC24V, 3.0A |
Dimension W×D×H | 100mm x 250mm x 99mm |