通过新的测量方法“阻抗”实现稳定的成膜!
水晶式成膜控制器 Model:CRTM-R1
ULVAC
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关于Model:CRTM-R1的介绍、购买、商讨
荣获2022年度日本真空工业协会"真空元件/零件/材料奖"
CRTM-R1是基于ULVAC多年培育的技术开发的水晶式成膜控制器。通过采用新的测量方法，我们实现了速率稳定性和比以前的型号更高的分辨率。它可用于从金属薄膜到光学薄膜的各种气相沉积工艺。
特点
- 采用新的测量方法，速率稳定性显着提高。
- 能力（CI值）测量提高了晶体板的异常检测能力。
- 出色的薄膜厚度和速率分辨率（0.0018Å @5MHz）使其成为低速率沉积控制的理想选择。
- 最多可以同时控制 8 个元件。 （添加选项时）
- 通讯方式兼容以太网和RS-232C。
- CRTM-R1-EL上保存的各种日志数据可以以 CSV 格式传输到 USB。
用途
- 有机EL沉积和钙钛矿太阳能电池沉积工艺中的薄膜厚度、速率管理和控制
规格
| 频率 | 测量范围 | 4.00～3.00MHz@4MHz |
| 5.00～3.50MHz@5MHz | ||
| 6.00～4.50MHz@6MHz | ||
| 测量分辨率 | 1mHz | |
| 显示分辨率 | 1mHz | |
| 蒸镀速率 | 测量范围*1 | 0.000～999.9Å/s (0～99.99nm/s) |
| 测量分辨率*2 | 0.0028Å/s @4MHz | |
| 0.0018Å/s @5MHz | ||
| 0.0012Å/s @6MHz | ||
| 显示分辨率* | 0.001Å/s | |
| 膜厚 | 测量范围*1 | 0.000～9999kÅ (0～999.9μm) |
| 测量分辨率*2 | 0.0028Å @4MHz | |
| 0.0018Å @5MHz | ||
| 0.0012Å @6MHz | ||
| 显示分辨率*1 | 0.001kÅ | |
| 兼容传感器频率 | 4MHz､5MHz､6MHz | |
| 可安装传感器数量（单个传感器） | 2 (可选MAX8，IF卡：2点/卡x 4卡) | |
| 可安装传感器数量（Multi多连传感器） | 2 (可选MAX8，IF卡：2点/卡x 4卡) | |
| 采样率 | 100msec | |
| Depo Program数 | 999 | |
| Process Program数 | 99 | |
| 数字输入点数 | 14（MAX56作为选项，DIO卡：14点/张x 4张） | |
| 数字输出点数 | 8（MAX32可选，DIO卡：8点/张x 4张） | |
| 模拟输出点数 | 2（可选MAX16，IF卡：2点/张x 4张+AO车：8点/张x 1张） | |
| 模拟输出范围 | -10～+10V | |
| 通讯方式 | LAN (Ethernet) (1000BASE-T/100BASE-TX/10BASE-T) | |
| RS-232C | ||
| USB2.0 Type-B | ||
| 外形尺寸（宽x深x高） | CRTM-R1：约480×约320×约130mm | |
| CTM-EL：约80×约152×约53mm | ||
| 质量kg | CRTM-R1：5.3kg（最大：5.8kg，带选件） | |
| CTM-EL：0.6kg | ||
| 事业供电 | 交流100~240V±10%,50/60Hz | |
| 最大功耗 | 150W | |
| 兼容保险丝 | 250V2.5A（5×20mm 2个） | |
| IP防护等级 | IP20 | |
| 过电压类别 | CAT.Ⅱ | |
| 海拔条件 | 海拔2000m以下 | |
| 污染程度 | 2 | |
| 使用环境 | 温度 5-40℃ | |
| 湿度 20-85 %RH（无凝结） | ||
| 仅限室内 | ||
| 储存环境 | 温度 -10 ～ 60℃（无电、无凝露） | |
| 湿度 20～ 85%RH（无凝露） | ||
| 热身时间 | 约30分钟 | |
| 兼容标准 | CE | |
*1:设置 Tooling=100、Density=1 时的值
*2:这是通过 Tooling=100、Density=1 转换频率分辨率获得的值。
选项介绍
使用CRTM-R1-EL时，需要另外选购选配的CTM-EL(-D)+电缆组、传感器、导入法兰等。
传统CRTM与新型CRTM-R1-EL沉积率比较
CRTM-R1-EL噪音低，工作稳定。
【 新型 CRTM-R1-EL 】
【 従来型 CRTM 】 
