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EB电源

HPS 系列

HPS-1000N-200

アルバック

ULVAC多年的技术积累和实际成果、具备稳定的回路和高性能的EB電源。
配合EB枪控制器EGC-10GS使用、能对应光学薄膜和金属薄膜用EB枪。

特点

  • 不需要冷却水
    强制空冷系统,不需要冷却水
  • 可靠性高
    作为设备制造商经验积累的成果
  • 简易的操作性
    操作面板使用液晶触摸屏,操作性得到提升。
  • 扫描波形变化
    可以在操作屏幕上创建各种光束扫描形式
  • 高速电弧中断功能
    通过高速电弧中断最大限度地减少成膜率
  • 低水平电弧控制功能(光学应用可选)
    控制光学应用中所产生的微小电弧以实现稳定的成膜

用途

  • 金属膜用真空沉积

规格

Model HPS-1000N-100 HPS-1000N-200
Input specification Input voltage Three phase, AC190~231V
Input capacity 14kVA 15kVA
Output specification Rated output power 10kW
Voltage -4k~-10kV
Ripple rate 2%p-p or less (at rated power)
Beam current 0~1000mA
Cooling method Forced air-cooling
Dimensions W×D×H 494×701×712mm
Weight 120kg 145kg
Applicable Standard CE

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