UNECS-1500A

アルバック

Automatic Stage Type with Mapping Function

UNECS系列是可以高速、高精度测量薄膜膜厚和折射率的分光椭偏仪。采用独特的测量方式，实现了高速测量和机体的小型化。
我们的产品阵容包括独特的便携式，自动式和对应真空环境的设备内置式类型。
UNECS-1500A/2000A/3000A通过自动R-θstage和自动对焦功能，快速自动测量整个样品表面的膜厚，并通过彩色地图显示膜厚分布。

特点

高速測定：
独特的快照方法可实现高达20 ms的高速测量。
适用于可见光谱：
波长范围可选标准类型（530nm至750nm）和可见光谱类型（380nm至760nm）。
紧凑型传感器单元：
光发射和接收的传感器仅由没有旋转机构的光学部件组成，因此非常轻且紧凑，并且不需要定期维护。
丰富的产品阵容：
产品阵容应用广泛，包括如独特的便携类型，手动/自动平台类型，大型基板类型，以及支持大气/真空环境的内置类型。

用途

透明或半透明薄膜（氧化膜，氮化膜，抗蚀剂，ITO等）的膜厚，折射率，消光系数的测量

规格

型号	1500A	2000A	3000A
波长范围	530～750nm、380～760nm（选择）
点径	Φ1mm、Φ0.3mm（选择）
入射角度	70o固定
膜厚再现性	1σ = 0.1ｎｍ
膜厚范围	1nm ～ 2μｍ
测量时间	受光：20ms ～ 3000ms　演算：300ms
平台	Φ150mm自动	Φ200mm自动	Φ300mm自动
自动测量	200点	200点	2,000点
控制PC	笔记本类型（带操作/分析软件）
机器构成	测量本体、控制器、操作PC（笔记本型）、使用说明书（CD）

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可选部件・消耗品

高速光谱椭偏仪

标准样品 100nm SiO2/Si

特点

高速測定：
独特的快照方法可实现高达20 ms的高速测量。

适用于可见光谱：
波长范围可选标准类型（530nm至750nm）和可见光谱类型（380nm至760nm）。

紧凑型传感器单元：
光发射和接收的传感器仅由没有旋转机构的光学部件组成，因此非常轻且紧凑，并且不需要定期维护。

丰富的产品阵容：
产品阵容应用广泛，包括如独特的便携类型，手动/自动平台类型，大型基板类型，以及支持大气/真空环境的内置类型。

规格

型号	1500A	2000A	3000A
波长范围	530～750nm、380～760nm（选择）
点径	Φ1mm、Φ0.3mm（选择）
入射角度	70o固定
膜厚再现性	1σ = 0.1ｎｍ
膜厚范围	1nm ～ 2μｍ
测量时间	受光：20ms ～ 3000ms　演算：300ms
平台	Φ150mm自动	Φ200mm自动	Φ300mm自动
自动测量	200点	200点	2,000点
控制PC	笔记本类型（带操作/分析软件）
机器构成	测量本体、控制器、操作PC（笔记本型）、使用说明书（CD）