自动型

UNECS 系列

UNECS-3000A

アルバック

UNECS系列是可以高速、高精度测量薄膜膜厚和折射率的分光椭偏仪。
采用独特的测量方式,实现了高速测量和机体的小型化。
我们的产品阵容包括独特的便携式,自动式和对应真空环境的设备内置式类型。
UNECS-1500A/2000A/3000A通过自动R-θstage和自动对焦功能,快速自动测量整个样品表面的膜厚,并通过彩色地图显示膜厚分布。

特点

  • 高速測定:
    独特的快照方法可实现高达20 ms的高速测量。
  • 适用于可见光谱:
    波长范围可选标准类型(530nm至750nm)和可见光谱类型(380nm至760nm)。
  • 紧凑型传感器单元:
    光发射和接收的传感器仅由没有旋转机构的光学部件组成,因此非常轻且紧凑,并且不需要定期维护。
  • 丰富的产品阵容:
    产品阵容应用广泛,包括如独特的便携类型,手动/自动平台类型,大型基板类型,以及支持大气/真空环境的内置类型。

用途

  • 透明或半透明薄膜(氧化膜,氮化膜,抗蚀剂,ITO等)的膜厚,折射率,消光系数的测量

规格

型号 1500A 2000A 3000A
波长范围 530~750nm、380~760nm(选择)
点径 Φ1mm、Φ0.3mm(选择)
入射角度 70o固定
膜厚再现性 1σ = 0.1nm
膜厚范围 1nm~2μm
测量时间 受光:20ms ~ 3000ms 演算:300ms
平台 Φ150mm自动 Φ200mm自动 Φ300mm自动
自动测量 200点 200点 2,000点
控制PC 笔记本类型(带操作/分析软件)
机器构成 测量本体、控制器、操作PC(笔记本型)、使用说明书(CD)

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可选部件・消耗品

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