UNECS-1M

アルバック

UNECS系列是可以高速、高精度测量薄膜膜厚和折射率的分光椭偏仪。
采用独特的测量方式，实现了高速测量和机体的小型化。
我们的产品阵容包括独特的便携式，自动式和对应真空环境的设备内置式类型。
UNECS-1M的传感器单元轻量、紧凑，能够简单嵌入成膜设备等。
除了通常的大气压类型以外，也有对应真空环境的类型。

特点

高速測定：
独特的快照方法可实现高达20 ms的高速测量。
适用于可见光谱：
波长范围可选标准类型（530nm至750nm）和可见光谱类型（380nm至760nm）。
紧凑型传感器单元：
光发射和接收的传感器仅由没有旋转机构的光学部件组成，因此非常轻且紧凑，并且不需要定期维护。
丰富的产品阵容：
产品阵容应用广泛，包括如独特的便携类型，手动/自动平台类型，大型基板类型，以及支持大气/真空环境的内置类型。

用途

透明或半透明薄膜（氧化膜，氮化膜，抗蚀剂，ITO等）的膜厚，折射率，消光系数的测量

规格

波长范围		530～750nm、380～760nm（选择）
点径		Φ1mm、Φ0.3mm（选择）
入射角度		70o固定
膜厚再现性		1σ = 0.1ｎｍ
膜厚范围		1nｍ～2μｍ
测量时间		受光：20ms ～ 3000ms　演算：300ms
设置环境		大气、真空（选择）
机器构成		测量头、控制器BOX、光源单元、使用说明书（CD）、解析软件（CD）＊控制PC不含在标准中

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可选部件・消耗品

高速光谱椭偏仪

标准样品 100nm SiO2/Si

特点

高速測定：
独特的快照方法可实现高达20 ms的高速测量。

适用于可见光谱：
波长范围可选标准类型（530nm至750nm）和可见光谱类型（380nm至760nm）。

紧凑型传感器单元：
光发射和接收的传感器仅由没有旋转机构的光学部件组成，因此非常轻且紧凑，并且不需要定期维护。

丰富的产品阵容：
产品阵容应用广泛，包括如独特的便携类型，手动/自动平台类型，大型基板类型，以及支持大气/真空环境的内置类型。

规格

波长范围		530～750nm、380～760nm（选择）
点径		Φ1mm、Φ0.3mm（选择）
入射角度		70o固定
膜厚再现性		1σ = 0.1ｎｍ
膜厚范围		1nｍ～2μｍ
测量时间		受光：20ms ～ 3000ms　演算：300ms
设置环境		大气、真空（选择）
机器构成		测量头、控制器BOX、光源单元、使用说明书（CD）、解析软件（CD）＊控制PC不含在标准中