低温泵 CRYO-U10HSP
ULVAC CRYOGENICS
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关于CRYO-U10HSP的介绍、购买、商讨
CRYO-U系列，是使用了2段式GM冷冻机的能够制造出高真空的低温泵系列。
根据FPD、半导体、电子机器、光学、研究开发等应用领域的不同，从小型到大型有广泛的产品阵容供您选择。
根据FPD、半导体、电子机器、光学、研究开发等应用领域的不同，从小型到大型有广泛的产品阵容供您选择。
特点
- 最适合溅射应用。
- 氩气容量是现有型号（U10H）的2倍。
- 再生时间间隔延长意味着更高的可用性。
- 可以进行多个连接（最多3个）。
标准规格
| 排气速度(20℃) | 氮 | L/s | 2,400 |
| 氢 | 3,600 | ||
| 氩 | 2,000 | ||
| 水 | 6,900 | ||
| 极限压力 | Pa(Torr) | 10-7(10-9) | |
| 最大流量 | 氩 | Pa・L/s(Torr・L/s) | 1.30×103(9.8) |
| 排气容量 | 氩 | Pa・L(Torr・L) | 2.0×108(1.5×106) |
| 氢 | 1.2×106(9.0×103) | ||
| 冷却下降時間 (动力循环) |
min(Hz) | 120/110(50/60) | |
| 吸气口法兰 | UVG-250,10BANSI | ||
| 压缩机组 | C15R | ||
| 重量 | Kg | 36.0 | |
*维护周期：16,000小时
*移动托盘可选
外观尺寸 (单位:mm)
