真空泵(高真空)|产品中心|ULVAC SHOWCASE

爱发科集团生产,销售的真空相关的设备介绍。

关于真空泵(高真空)的介绍、购买、商讨

真空泵是从密封空间排出气体并产生低于大气压的压力状态(真空)的机器。真空泵有多种类型,每种都有不同的抽气机构和抽气速度,必须根据目的和应用来使用。
1×10-2Pa至1×10-6Pa范围称为高真空,1×10-7Pa至1×10-9Pa范围称为超高真空,1×10-10Pa或较低的称为极高真空。

泵的种类

低温泵

冷凝泵是一种低温真空泵,旨在实现从高真空到超高真空的状态。该泵通过在内部安装的低温表面凝结和吸附气体,从而高效地捕捉气体。冷凝泵的最大特点是能够提供无油污染的清洁真空环境。

此外,尽管采用了吸附方式,冷凝泵的排气速度非常快,这在与其他真空泵的比较中尤为突出。因此,冷凝泵在需要清洁和高效真空环境的各个行业和研究领域中得到了广泛应用。

在考虑引入冷凝泵时,其高性能和提供清洁真空环境的能力是其主要优势。

低温泵

CRYO-U4H

CRYO-U系列,是使用了2段式GM冷冻机的能够制造出高真空的低温泵系列。 根据FPD、半导体、电子机器、光学、研究开发等应用领域的不同,从小型到大型有广泛的产品阵容供您选择。

低温泵

CRYO-U6H

CRYO-U系列,是使用了2段式GM冷冻机的能够制造出高真空的低温泵系列。 根据FPD、半导体、电子机器、光学、研究开发等应用领域的不同,从小型到大型有广泛的产品阵容供您选择。

低温泵

CRYO-U8H

CRYO-U系列,是使用了2段式GM冷冻机的能够制造出高真空的低温泵系列。 根据FPD、半导体、电子机器、光学、研究开发等应用领域的不同,从小型到大型有广泛的产品阵容供您选择。

低温泵

CRYO-U8H-U

CRYO-U系列,是使用了2段式GM冷冻机的能够制造出高真空的低温泵系列。 根据FPD、半导体、电子机器、光学、研究开发等应用领域的不同,从小型到大型有广泛的产品阵容供您选择。

SHOWCASE

低温泵

CRYO-U8HL

CRYO-U系列,是使用了2段式GM冷冻机的能够制造出高真空的低温泵系列。 根据FPD、半导体、电子机器、光学、研究开发等应用领域的不同,从小型到大型有广泛的产品阵容供您选择。

低温泵

CRYO-U8HSP

CRYO-U系列,是使用了2段式GM冷冻机的能够制造出高真空的低温泵系列。 根据FPD、半导体、电子机器、光学、研究开发等应用领域的不同,从小型到大型有广泛的产品阵容供您选择。

低温泵

CRYO-U10H

低温泵

CRYO-U10HSP

CRYO-U系列,是使用了2段式GM冷冻机的能够制造出高真空的低温泵系列。
根据FPD、半导体、电子机器、光学、研究开发等应用领域的不同,从小型到大型有广泛的产品阵容供您选择。

低温泵

CRYO-U12H

CRYO-U系列,是使用了2段式GM冷冻机的能够制造出高真空的低温泵系列。 根据FPD、半导体、电子机器、光学、研究开发等应用领域的不同,从小型到大型有广泛的产品阵容供您选择。

SHOWCASE

低温泵

CRYO-U12HL

CRYO-U系列,是使用了2段式GM冷冻机的能够制造出高真空的低温泵系列。 根据FPD、半导体、电子机器、光学、研究开发等应用领域的不同,从小型到大型有广泛的产品阵容供您选择。

低温泵

CRYO-U12HSP

CRYO-U系列,是使用了2段式GM冷冻机的能够制造出高真空的低温泵系列。 根据FPD、半导体、电子机器、光学、研究开发等应用领域的不同,从小型到大型有广泛的产品阵容供您选择。

低温泵

CRYO-U16

CRYO-U系列,是使用了2段式GM冷冻机的能够制造出高真空的低温泵系列。 根据FPD、半导体、电子机器、光学、研究开发等应用领域的不同,从小型到大型有广泛的产品阵容供您选择。

低温泵

CRYO-U16P

CRYO-U系列,是使用了2段式GM冷冻机的能够制造出高真空的低温泵系列。
根据FPD、半导体、电子机器、光学、研究开发等应用领域的不同,从小型到大型有广泛的产品阵容供您选择。

低温泵

CRYO-U20P

CRYO-U系列,是使用了2段式GM冷冻机的能够制造出高真空的低温泵系列。 根据FPD、半导体、电子机器、光学、研究开发等应用领域的不同,从小型到大型有广泛的产品阵容供您选择。

低温泵

CRYO-U20H

CRYO-U系列,是使用了2段式GM冷冻机的能够制造出高真空的低温泵系列。 根据FPD、半导体、电子机器、光学、研究开发等应用领域的不同,从小型到大型有广泛的产品阵容供您选择。

SHOWCASE

低温泵

CRYO-U22P

CRYO-U系列,是使用了2段式GM冷冻机的能够制造出高真空的低温泵系列。 根据FPD、半导体、电子机器、光学、研究开发等应用领域的不同,从小型到大型有广泛的产品阵容供您选择。

低温泵

CRYO-U22WB

CRYO-U系列,是使用了2段式GM冷冻机的能够制造出高真空的低温泵系列。根据FPD、半导体、电子机器、光学、研究开发等应用领域的不同,从小型到大型有广泛的产品阵容供您选择。

低温泵

CRYO-U22H

CRYO-U系列,是使用了2段式GM冷冻机的能够制造出高真空的低温泵系列。 根据FPD、半导体、电子机器、光学、研究开发等应用领域的不同,从小型到大型有广泛的产品阵容供您选择。

低温泵

CRYO-U30H

CRYO-U系列,是使用了2段式GM冷冻机的能够制造出高真空的低温泵系列。 根据FPD、半导体、电子机器、光学、研究开发等应用领域的不同,从小型到大型有广泛的产品阵容供您选择。

低温泵

C10

用于使低温泵运转。将压缩后的氦气送出冷冻机,冷却从冷冻机回来的高温氦气,使之循环。

低温泵

C10AT

用于使低温泵运转。将压缩后的氦气送出冷冻机,冷却从冷冻机回来的高温氦气,使之循环。

低温泵

C15R

用于使低温泵运转。将压缩后的氦气送出冷冻机,冷却从冷冻机回来的高温氦气,使之循环。

低温泵

C30VR

用于使低温泵运转。将压缩后的氦气送出冷冻机,冷却从冷冻机回来的高温氦气,使之循环。

低温泵

C30VRT

用于使低温泵运转。将压缩后的氦气送出冷冻机,冷却从冷冻机回来的高温氦气,使之循环。

低温泵

C30MVR

用于使低温泵运转。将压缩后的氦气送出冷冻机,冷却从冷冻机回来的高温氦气,使之循环。

低温泵

C30MVRT

用于使低温泵运转。将压缩后的氦气送出冷冻机,冷却从冷冻机回来的高温氦气,使之循环。

低温泵

C30PVRT

用于使低温泵运转。将压缩后的氦气送出冷冻机,冷却从冷冻机回来的高温氦气,使之循环。

低温泵

C30PMVRT

This product is necessary to operate the cryopump.
Compressed helium gas is sent to a refrigerator, and high-temperature helium gas that is returned from the refrigerator is cooled and circulated.

低温泵

C40R

用于使低温泵运转。将压缩后的氦气送出冷冻机,冷却从冷冻机回来的高温氦气,使之循环。

低温泵

PR1A

再生时的干燥氮气净化装置。可以缩短升温时间。

低温泵

PR2A

再生时的干燥氮气净化装置。可以缩短升温时间。

低温泵

PR3A

再生时的干燥氮气净化装置。可以缩短升温时间。

低温泵

RBH-6

易于安装,可以切实缩短再生时间。促进排气中水的蒸发,有助于低温泵再生时的升温时间的缩短和粗抽时间的缩短。

低温泵

RBH-8

易于安装,可以切实缩短再生时间。促进排气中水的蒸发,有助于低温泵再生时的升温时间的缩短和粗抽时间的缩短。

低温泵

RBH-8HSP

易于安装,可以切实缩短再生时间。促进排气中水的蒸发,有助于低温泵再生时的升温时间的缩短和粗抽时间的缩短。

低温泵

RBH-10

易于安装,可以切实缩短再生时间。促进排气中水的蒸发,有助于低温泵再生时的升温时间的缩短和粗抽时间的缩短。

低温泵

RBH-12

易于安装,可以切实缩短再生时间。促进排气中水的蒸发,有助于低温泵再生时的升温时间的缩短和粗抽时间的缩短。

低温泵

RBH-16

易于安装,可以切实缩短再生时间。促进排气中水的蒸发,有助于低温泵再生时的升温时间的缩短和粗抽时间的缩短。

低温泵

RBH-20

易于安装,可以切实缩短再生时间。促进排气中水的蒸发,有助于低温泵再生时的升温时间的缩短和粗抽时间的缩短。

低温泵

RBH-22P

易于安装,可以切实缩短再生时间。促进排气中水的蒸发,有助于低温泵再生时的升温时间的缩短和粗抽时间的缩短。

低温泵

RBH-22

易于安装,可以切实缩短再生时间。促进排气中水的蒸发,有助于低温泵再生时的升温时间的缩短和粗抽时间的缩短。

低温泵

RBH-30

易于安装,可以切实缩短再生时间。促进排气中水的蒸发,有助于低温泵再生时的升温时间的缩短和粗抽时间的缩短。

低温泵

MBD-S

低温泵的温度显示计。与低温热电偶温度计MBS-C连接,数字化显示低温泵的温度。

低温泵

MBD-T

低温泵的温度显示计。与低温热电偶温度计MBS-C连接,数字化显示低温泵的温度。

超级冷阱

超级捕集器使用小型氦制冷机,完全无需担心环境破坏问题。该装置能够冷却至80K以下的温度,适用于从低真空到超高真空的广泛应用。由于这些特性,超级捕集器被用于提高涡轮分子泵的排气性能,作为扩散泵的捕集器,甚至作为专用于水蒸气排放的真空泵。

在考虑引入超级捕集器时,其环保设计和广泛的适用性是其显著优势。

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超级冷阱

CRYO-T4

CRYO-T系列,是使用了1段式GM冷冻机的以排除水气为目的的能够制造出高真空的低温泵系列。 根据FPD、半导体、电子机器、光学、研究开发等应用领域的不同,从小型到大型有广泛的产品阵容供您选择。

超级冷阱

CRYO-T6

CRYO-T系列,是使用了1段式GM冷冻机的以排除水气为目的的能够制造出高真空的低温泵系列。 根据FPD、半导体、电子机器、光学、研究开发等应用领域的不同,从小型到大型有广泛的产品阵容供您选择。

SHOWCASE

超级冷阱

CRYO-T8

CRYO-T系列,是使用了1段式GM冷冻机的以排除水气为目的的能够制造出高真空的低温泵系列。 根据FPD、半导体、电子机器、光学、研究开发等应用领域的不同,从小型到大型有广泛的产品阵容供您选择。

SHOWCASE

超级冷阱

CRYO-T10

CRYO-T系列,是使用了1段式GM冷冻机的以排除水气为目的的能够制造出高真空的低温泵系列。 根据FPD、半导体、电子机器、光学、研究开发等应用领域的不同,从小型到大型有广泛的产品阵容供您选择。

SHOWCASE

超级冷阱

CRYO-T12

CRYO-T系列,是使用了1段式GM冷冻机的以排除水气为目的的能够制造出高真空的低温泵系列。 根据FPD、半导体、电子机器、光学、研究开发等应用领域的不同,从小型到大型有广泛的产品阵容供您选择。

SHOWCASE

超级冷阱

CRYO-TS10

CRYO-T系列,是使用了1段式GM冷冻机的以排除水气为目的的能够制造出高真空的低温泵系列。 根据FPD、半导体、电子机器、光学、研究开发等应用领域的不同,从小型到大型有广泛的产品阵容供您选择。

SHOWCASE

超级冷阱

CRYO-TS14

CRYO-T系列,是使用了1段式GM冷冻机的以排除水气为目的的能够制造出高真空的低温泵系列。 根据FPD、半导体、电子机器、光学、研究开发等应用领域的不同,从小型到大型有广泛的产品阵容供您选择。

SHOWCASE

超级冷阱

CRYO-TS22

CRYO-T系列,是使用了1段式GM冷冻机的以排除水气为目的的能够制造出高真空的低温泵系列。 根据FPD、半导体、电子机器、光学、研究开发等应用领域的不同,从小型到大型有广泛的产品阵容供您选择。

涡轮分子泵

涡轮分子泵是实现高真空环境的重要设备,广泛应用于半导体制造和研究设施中。该泵通过高速移动分子来高效地生成真空。

涡轮分子泵由高速旋转的转子和固定的定子组成。转子的叶片与分子碰撞,将分子加速向排气口,从而产生真空。这个过程利用了分子的动能,非常高效。

与其他真空泵相比,涡轮分子泵具有极高的排气速度,能够快速建立真空环境。此外,由于不使用油,它能提供清洁的真空环境,非常适合半导体制造等精密工作。涡轮分子泵还具有从低真空到超高真空的广泛适用性,被广泛应用于各种工业和研究领域。

涡轮分子泵

UTM-MS


New Product


涡轮分子泵,带有使用磁悬浮轴承的独立控制器。我们有抽速为300~4000 L/s 的型号阵容。控制器单元可以监控运行状态并支持各种通信标准。


涡轮分子泵

YTP70A

搭载陶瓷球轴承型涡轮分子泵,是一款台式高真空排气单元。
考虑到在台面上使用的环境,降低了动作时的运转声音、振动。
此外,机器操作为触摸屏式,可通过简单易懂的显示图标简单操作。

涡轮分子泵

YTPーB

YTP系列Ver.B是搭载陶瓷球轴承型涡轮分子泵的高真空排气单元。
可实现从大气压到高真空的排气。
产品阵容中既有可通过START/STOP开关自动排气的SA型,也有手动操作的M型。
此外,辅助泵的标准规格为油回转泵,也可选择干式涡旋泵的干式规格。

涡轮分子泵

UTM-B

采用陶瓷轴承的复合翼型涡轮分子泵。通过泵的本体和控制器一体化,实现了省空间。出色的高背压特性使辅助泵的小型化成为可能。

涡轮分子泵

UTM-MI

采用磁浮轴承控制器一体型涡轮分子泵。通过泵的本体和控制器一体化,实现了省配线,省空间。

涡轮分子泵

VPT-060

在架台上紧密集成了涡轮分子泵、干泵、阀门配管、电气系统等必要设备,是干燥型小型的高真空排气装置。
最适合于半导体、分析、检查、理化、制药等各领域的洁净真空环境。

溅射离子泵

溅射离子泵利用电场和磁场来电离气体分子。电离后的分子在电场的加速下,与固体目标表面发生碰撞。这种碰撞使分子嵌入表面,从而产生真空。该过程对去除惰性气体和反应性气体特别有效。

溅射离子泵能够实现低于10^-11 Torr的超高真空,非常适合精密实验和制造过程。由于没有机械活动部件,它们具有长寿命和低维护的特点。此外,由于不使用油,溅射离子泵提供了清洁无污染的真空环境。与其他真空泵相比,溅射离子泵具有更低的能耗和更高的能源效率。

溅射离子泵

PST

溅射离子泵是一种用于产生超高真空的泵,广泛应用于分析仪和加速器中。
ULVAC通过开发强化极、超高真空领域排气特性的新型元件和优化磁场的技术,开发出了泵。

溅射离子泵

GST-07L-B

GST-07L-B是一种溅射离子泵控制器,功能完善,可靠性高。它是ULVAC丰富的技术储备和在超高真空领域久经考验的长期积累的产物。

油扩散泵

油扩散真空泵通过加热油来蒸发生成油蒸气。这些油蒸气通过喷嘴高速喷射,与气体分子碰撞。碰撞后的气体分子被油蒸气流带向排气口,从而形成真空。这个过程在需要高真空的应用中非常有效。

油扩散真空泵能够实现10^-7 Torr到10^-9 Torr的高真空,非常适合多种工业用途。与其他高真空泵相比,它们的初始成本较低,经济上易于引入。其简单的结构确保了长期稳定的性能,具有可靠性和耐久性,广泛应用于半导体制造、金属加工、研究开发等各个领域。

油扩散泵

PFL

ULVAC油擴散泵PFL型是基於我們豐富的研究和製造經驗而設計和製造的。我們通過4B系列產品滿足客戶的需求,其中包括22B至52B,這些產品已在許多高真空生產設施中使用,其實用性能受到高度讚賞。

油扩散泵

ULK

ULVAC的ULK型油扩散泵是加大了临界背压设计的小型化高真空排气泵。从研究用途到工厂生产线都有广泛应用。

油扩散泵

PBL

ULVAC的PBL型油扩散喷射泵、是在中真空领域可以提高排气速度的扩散泵。有效对应异物混入,从发售开始一直畅销至今。

SHOWCASE

油扩散泵

BW-02

抑制从油扩散泵向吸气侧的油蒸气的逆流。

SHOWCASE

油扩散泵

BW-04B

抑制从油扩散泵向吸气侧的油蒸气的逆流。

SHOWCASE

油扩散泵

BW-06B

抑制从油扩散泵向吸气侧的油蒸气的逆流。

SHOWCASE

油扩散泵

BW-10

抑制从油扩散泵向吸气侧的油蒸气的逆流。

SHOWCASE

油扩散泵

BW-14

抑制从油扩散泵向吸气侧的油蒸气的逆流。

SHOWCASE

油扩散泵

BW-20

抑制从油扩散泵向吸气侧的油蒸气的逆流。

SHOWCASE

油扩散泵

BW-22

抑制从油扩散泵向吸气侧的油蒸气的逆流。

SHOWCASE

油扩散泵

BW-36

抑制从油扩散泵向吸气侧的油蒸气的逆流。

SHOWCASE

油扩散泵

BW-52

抑制从油扩散泵向吸气侧的油蒸气的逆流。

排气单元

真空排气装置是指将可在大气压下工作的真空泵与具有上限工作压力的真空泵组合起来的产品,或者具有真空排气以外的功能的产品。

排气单元

VPC-051

在管架上紧密安装了油扩散泵、油旋片真空泵、真空管、电力系统、压力测量口等必要机器的低成本小型高真空排气装置。
使用与保养检修很简单,最适合用于实验。

排气单元

VPC-051A

在管架上紧密安装了油扩散泵、油旋片真空泵、真空管、电力系统、压力测量口等必要机器的低成本小型高真空排气装置。
使用与保养检修很简单,最适合用于实验。

排气单元

VPC-250F

在管架上紧密安装了油扩散泵、油旋片真空泵、真空管、电力系统、压力测量口等必要机器的低成本小型高真空排气装置。使用与保养检修很简单,最适合用于实验。

排气单元

VFR-200M/X

在管架上紧密安装了主泵、辅助泵、电力系统、压力测量口等必要机器的小型高真空排气装置。
DEPOX系列有不同排气系统构造的4个类型。
使用简单、最适合用于实验。

排气单元

VWR-400M/X

在管架上紧密安装了主泵、辅助泵、电力系统、压力测量口等必要机器的小型高真空排气装置。
DEPOX系列有不同排气系统构造的4个类型。
使用简单、最适合用于实验。

排气单元

VTR-350M/X

在管架上紧密安装了主泵、辅助泵、电力系统、压力测量口等必要机器的小型高真空排气装置。
DEPOX系列有不同排气系统构造的4个类型。
使用简单、最适合用于实验。

排气单元

VTS-350M/X

在管架上紧密安装了主泵、辅助泵、电力系统、压力测量口等必要机器的小型高真空排气装置。
DEPOX系列有不同排气系统构造的4个类型。
使用简单、最适合用于实验。

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