真空泵(高真空)

ULVAC的真空泵是以ULVAC在真空领域丰富的技术和经验为基础开发的。我们有涡轮分子泵、低温泵、溅射离子泵等适用于所有领域·条件·用途的真空泵系列产品。

泵的种类

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极限压力

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1.0×10-10 1.0×10-8 1.0×10-6 1.0×10-4 1.0×10-2 1.0 1.0×102 1.0×103
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7.5×10-13 7.5×10-11 7.5×10-9 7.5×10-7 7.5×10-5 7.5×10-3 7.5×10-1 7.5
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1.0×10-12 1.0×10-10 1.0×10-8 1.0×10-6 1.0×10-4 1.0×10-2 1.0 1.0×101
(単位) Pa Torr mbar

排气速度

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0 100 500 2000 3000 4000 5000 10000 50000 70000
(単位) L/s

製品種別

法兰尺寸

品牌

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产品中心

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