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低温泵

CRYO-U8HSP

ULVAC CRYOGENICS

CRYO-U系列，是使用了2段式GM冷冻机的能够制造出高真空的低温泵系列。根据FPD、半导体、电子机器、光学、研究开发等应用领域的不同，从小型到大型有广泛的产品阵容供您选择。

特点

与CTI低温泵CT-8完全兼容。
氢气的排气性优于CT-8
可以多台运行（最多3台）

标准规格

排气速度(20℃)	氮	L/s	1,700
	氢		2,700
	氩		1,400
	水		4,000
极限压力	Pa(Torr)		10^-7(10^-9)
最大流量	氩	Pa・L/s(Torr・L/s)	1.2×10³(8.9)
排气容量	氩	Pa・L(Torr・L)	1.0×10⁸(7.6×10⁵)
排气容量	氢	Pa・L(Torr・L)	1.0×10⁶(7.6×10³)
冷却下降时间 (动力循环)	min(Hz)		100/90(50/60)
吸气口法兰			UVG-200,6^BANSI,UFC-253
压缩机组			C10, C10AT, C10ES
重量		Kg	20.8

*维护周期：16,000小时

外形尺寸 (单位:mm)