排气单元 VPC-250F
ULVAC KIKO

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在管架上紧密安装了油扩散泵、油旋片真空泵、真空管、电力系统、压力测量口等必要机器的低成本小型高真空排气装置。使用与保养检修很简单,最适合用于实验。
特点
- 可以在不停止主泵的情况下打开真空室。
- 使用三通阀,组件更少,维修更容易。
- 油扩散泵是空气冷却,不需要冷却水。
- 带轮子的排气系统,易于移动。
规格
型号 | VPC-250F |
极限压力 | 10-4Pa台 10-5Pa(使用液氮时) |
主泵 | 油扩散泵(空冷) 200 L/sec |
辅助泵 | 油回转真空泵 100 L/min |
主阀门 | 65A插板阀 |
辅助阀门 | 三通阀 |
吸气口 | VG-65 |
重量 | 55.7kg |
最大尺寸 (W×D×H) | 530mm(W)×537mm(D)×735mm(H) |
※电离真空计・皮拉尼真空计・液氮阱・吸气法兰・油雾捕集器是可选的。
效用
型号 | VPC-250F |
所需电力
|
单相 100V 1.35kVA |
接地端子
|
D种 (接地电阻值/100MΩ以下) |
安装
|
乙烯基电缆(带插头) 2m |
油扩撒泵

型 式 | DPF-200 |
极限压力
|
10-5Pa |
最大排气速度
|
200L/sec |
临界背压
|
20Pa |
所要電力
|
单相 100V 0.45kW |
使用油
|
SX 70cc |
质量
|
5kg |
吸气法兰
|
VG-65 |
排气管
|
Φ27mm |
冷却方式
|
空冷 |
尺寸图

排气系统图
