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油扩散泵

ULK

ULVAC

ULVAC的ULK型油扩散泵是加大了临界背压设计的小型化高真空排气泵。从研究用途到工厂生产线都有广泛应用。

特点

没有机械式的滑动部分，坚固型高真空泵。
有2种油和加热器可供选择，能够满足所需要的排气速度、到达压力。
配有防止向辅助泵侧返油的机构。

用途

・蒸发设备
・高真空实验设备

规格

型号		ULK-04A		ULK-06A		ULK-10A		ULK-14A
排气速度		550L/sec	500L/sec	1,200L/sec	1,100L/sec	3,400L/sec	3,000L/sec	5,400L/sec	4,900L/sec
极限压力 *1		＜2.6×10^-5 Pa	＜2.6×10^-6 Pa	＜2.6×10^-5 Pa	＜2.6×10^-6 Pa	＜2.6×10^-5 Pa	＜2.6×10^-6 Pa	＜2.6×10^-5 Pa	＜2.6×10^-6 Pa
临界背压		40 Pa	60 Pa	40 Pa	60 Pa	35 Pa	40 Pa	30 Pa	30 Pa
工作开始时间		9 min	8.5 min	16.5 min	15 min	20 min	20 min	25 min	25 min
液压油 *2		ULVOIL D-11	ULVOIL D-31	ULVOIL D-11	ULVOIL D-31	ULVOIL D-11	ULVOIL D-31	ULVOIL D-11	ULVOIL D-31
油量		0.15 L		0.35 L		0.8 L		1.5 L
水温		19℃～25℃
冷却水进水口 (尺寸)		Rc　1/4"		Rc　1/4"		Rc　3/8"		Rc　3/8"
冷却水量		1 L/min	1 L/min	1 L/min	1.5 L/min	2.5 L/min	3 L/min	2.5 L/min	3.5 L/min
电压规格		200V/1Φ V
电力需求		0.55 kW	0.73 kW	0.9 kW	1.2 kW	2 kW	2.4 kW	2.25 kW	2.4 kW
加热器种类		热板		热板		热板		热板
推荐辅助泵 *3		VD151/VD201		VD30C/VD40C/VD60C		VD90C		VS1501/VS2401/PKS-030
		PVD-180/PVD-360				VS1501
						PKS-016/PKS-030
外形尺寸 *4	A	175 mm		250 mm		340 mm		340 mm
	B	150 mm		180 mm		240 mm		240 mm
	H	344 mm		449 mm		650 mm		670 mm
吸气口		VG100		VG150		VG250		VG350
排气口		VG25		VG40		VG80		VG80
重量		7.5 Kg		13.5 Kg		47 Kg		56 Kg
油位计		无		无		视窗		视窗
温控器选项		有		有		有		有
恒温器设定温度		250		250		180		180

*1　当冷却水量为20℃时，极限压力基于电离真空计。
*2　D-11是烃类通用油，D-31是具有高热稳定性的硅基扩散泵油。
*3　这里是根据扩散泵最大流量来选择辅助泵的。
　　通常情况下，考虑到粗抽时间，使用比这里所示的更大的机械增压泵和油回转真空泵也是合适的。
*4　关于其他尺寸，请确认本公司网站上的CAD数据（二维图纸、三维图纸）。

排气速度曲线

ULK-04A / 06A

ULK-10A / 14A

尺寸图

	ULK-04A	ULK-06A	ULK-10A	ULK-14A
A	175 mm	250 mm	340 mm	340 mm
B	150 mm	180 mm	240 mm	240 mm
C	342.5 mm	449 mm	650 mm	670 mm