低温泵 CRYO-U12HL
ULVAC CRYOGENICS
打印・
保存产品手册
保存产品手册
关于CRYO-U12HL的介绍、购买、商讨
CRYO-U系列，是使用了2段式GM冷冻机的能够制造出高真空的低温泵系列。 根据FPD、半导体、电子机器、光学、研究开发等应用领域的不同，从小型到大型有广泛的产品阵容供您选择。
特点
- 高度更低，更紧凑的设计。
- 可用于缩小设备的尺寸。
- 可以制造其他尺寸的泵。
标准规格
| 排气速度(20℃) | 氮 | L/s | 4,000 |
| 氢 | 6,800 | ||
| 氩 | 3,300 | ||
| 水 | 9,500 | ||
| 极限压力 | Pa(Torr) | 10-7(10-9) | |
| 最大流量 | 氩 | Pa・L/s(Torr・L/s) | 2.0×103(15.0) |
| 排气容量 | 氩 | Pa・L(Torr・L) | 3.1×108(2.3×106) |
| 氢 | 9.8×105(7.4×103) | ||
| 冷却下降时间(动力循环) | min(Hz) | 90/80(50/60) | |
| 吸气口法兰 | UVG-300,10BANSI | ||
| 压缩机组 | C30VRT | ||
| 重量 | Kg | 40 | |
*维护周期：16,000小时
外形尺寸 (单位:mm)
