油扩散泵
BW-04B
ULVAC
抑制从油扩散泵向吸气侧的油蒸气的逆流。
特点
- 保护真空容器内部免受油扩散泵的油雾污染。
- 最大限度地减少排气阻力。
- 通过设适配器,BW-04B和BW-06B可以进一步抑制油蒸汽的逆流。
规格
型号 | BW-02 | BW-04B | BW-06B | BW-10 | BW-14 | BW-20 | BW-22 | BW-36 | BW-52 | |
电导率[L/sec] | 100 | 940 | 2200 | 3130 | 5000 | 13000 | 14000 | 54000 | 75000 | |
外部尺寸[mm] | D | Φ120 | Φ149 | Φ199 | Φ350 | Φ450 | Φ625 | Φ680 | Φ1065 | Φ1480 |
T | 16 | 28 | 28 | 44 | 50 | 152 | 101 | 113 | 165 | |
t | 16 | 25 | 25 | 22 | 22 | 24 | 26 | 28 | 35 | |
冷却水取合(尺寸) | Rc 1/8 | Rc 1/4 | Rc 1/4 | Rc 1/4 | Rc 3/8 | Rc 3/8 | Rc 3/8 | Rc 3/8 | Rc 1/2 | |
冷却水量[L/min] | 1.5 | 0.7 | 1 | 2 | 2 | 3 | 3 | 5 | 5 | |
重量[kg] | 1 | 1.3 | 1.7 | 7.6 | 11 | 22 | 28 | 66 | 200 |